판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9393333

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 반도체 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. TEL CS450은 IC (Integrated Circuit) 장치에서 매우 정확한 물리적, 전기적, 광 특성을 달성하는 데 이상적입니다. 전자동 시스템 (Fully Automated System) 은 얇은 포토리스 연주자 층으로 부품과 기판을 빠르고 균일하게 코팅합니다. 포토레시스트는 IC 장치 표면에 패턴을 만드는 데 사용되는 감광 물질입니다. 그것 은 처음 에 균일 한 얇은 층 에 적용 된 다음, 사진 "마스크 '를 사용 하여" UV' 광선 에 노출 되어 "레지스트 '에 빛 의 본 을 이룬다. 저항은 노출 된 영역에서 굳어짐으로써 빛과 상호 작용합니다. "마스크 '의" 패턴' 을 남기고 굳어지는 모든 노출 된 부분 을 씻을 수 있다. TOKYO ELECTRON CS 450은 플루오린화 수소 (HF) 증착 및 스핀 코터 기술을 결합하여 광저장제 응용을위한 뛰어난 얇은 층 접착력을 제공합니다. 스핀 코터 (spin coater) 는 또한 균일 한 두께의 코팅을 적용하는 데 사용되며, 프로세스를 통해 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. CS 450 장치에는 주변 장치 제어 보드, 중앙 컨트롤러 및 자동 진공 기반 화학 전달 기계가 포함되어 있습니다. 주변 장치 제어 보드 (peripheral control board) 는 공구의 자동화를 제어하는 데 사용되며 중앙 컨트롤러 (central controller) 는 전체 작업을 제어합니다. 화학적 전달 자산은 개발자 (developer), 활성화 제 (activator) 및 리무버 (remover) 와 같은 화학 물질의 정확한 용량이 기질로 전달되도록 보장합니다. CS450은 조정 가능한 기판 홀더를 사용하여 10 "및 12" 웨이퍼 처리 기능을 모두 제공합니다. 모델은 직경 2 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450은 통합 된 전동 스핀 코터로 포토 esist의 고속 적용을 가능하게합니다. TEL CS 450 은 여러 웨이퍼 크기를 지원하며, 최대 24 개의 웨이퍼를 한 번에 처리할 수 있습니다. 이로 인해 장비는 대규모 생산 목적에 이상적입니다. 또한, TOKYO ELECTRON CS450 은 자동화된 프로세스로 구성이 가능하며, 특정 요구 사항에 맞게 손쉽게 변경 또는 조정할 수 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 IC 장치의 정확한 패턴 형성을 위해 설계된 자동 포토리스 시스템입니다. 고급 HF 증발 및 스핀 코터 기술과 진공 기반 화학 전달 장치 (thin layer adhesion 및 uniformity) 를 결합합니다. TEL CS450 은 다중 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원하며 대규모 생산을 위해 자동화된 프로세스를 통해 구성 가능합니다.