판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269623

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment는 기판의 photoresist 패턴 형성 및 박막 패턴화 평가를 위해 설계된 다기능 평가 장치입니다. TEL CS450 시스템은 노출, 개발, 리플로우 및 노출 후 베이크 (PEB) 프로세스에 대한 고급 제어 및 독립적 인 관리를 가능하게합니다. 유기, 액정 디스플레이, photomask를 포함한 반도체 장치의 제작에 사용됩니다. TOKYO ELECTRON CS 450 장치에는 독점 알고리즘으로 프로그래밍 된 고급 제어 모듈 (Advanced Control Module) 이 있으며, 기판에 포토 esist를 단순화, 속도 향상 및 정확하게 처리합니다. 노출 모듈은 포토 리토 그래피 파형 (photolithography waveform) 을 제어하여 고대비 이미징 및 포토 esist 레이어에 적용된 낮은 스트레스를 허용합니다. 그 에 더하여, "레지스트 리플로우 머신 '을 장착 하여, 감광계 층 에 특별 한 가열 된 온대 를 적용 하여, 더 두껍고 더 균일 한 증착 을 가능 케 한다. 또한, CS 450 도구는 기판에서 포토 esist의 최적의 패턴을 달성하기 위해 노출 용량, 개발 시간, PEB 조건과 같은 중요한 매개변수를 평가 할 수있는 자동 프로세스 최적화 (automatic process optimization) 기능을 갖추고 있습니다. 이 최적화 기능은 실험 중 사람의 오류 수를 크게 줄여 전반적인 생산성 (productivity) 을 향상시킵니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS 450 자산에는 고급 모니터링 및 로깅 기능이 있으며, 이를 통해 운영자는 전체 저항 처리 프로세스를 추적 할 수 있으므로 사양에 따라 포토레지스트가 적용됩니다. CS450 모델은 이미지 전송을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공하기 때문에 산업 어플리케이션 (예: 대용량 전자 부품 생산) 에 이상적입니다.