판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269614

텔/도쿄 전자 CS450 (TEL/TOKYO ELECTRON CS450) 은 뛰어난 모터 성능으로 뛰어난 저항성 패턴 화질을 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비로 사진 리스토그래피, 이방성 및 등방성 에칭 등과 같은 절차를 허용합니다. TEL CS450은 인라인 풀 사이즈 베이킹 챔버 (in-line full-size baking chamber) 를 갖춘 반자동 플랫폼을 사용하여 로딩 당 최대 15 개의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 또한 디지털 이미지 처리 기능 (digital image processing function) 의 전체 스펙트럼을 가지고 있어 사진 리스토그래피 프로그램에 사용할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON CS 450에는 4 스테퍼 구동 모터가 제공되어 저항 사출의 정확한 제어 및 기판 위치 및 정렬이 보장됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450에는 고급 프로세스 시스템이 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 사진 촬영 단계를 쉽게 수행 할 수 있습니다. 또한 4 축 이동 및 수송 제어 장치가 장착되어 있으며, 고정밀 X, Y, Z 및 회전 동작을 수행 할 수 있습니다. TEL CS 450에는 주어진 기판에 균일 한 표면 코팅, 다층 증착을위한 고급 3 펄스 스퍼터링 프로세스, 기판 청소를위한 레이저 표면 제거 공정을 유도 할 수있는 고정밀 스핀 코트 머신 (spin coat machine) 이 있습니다. 또한, 이 도구에는 고급 반사 방지 코팅 (anti-reflection coating) 기능이 있으며, 이는 최고의 패턴 품질을 달성하는 데 유용합니다. CS450에는 통합 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 과 정전기로 인한 문제를 방지하는 데 도움이 되는 PVC 무료 컨베이어 벨트가 장착되어 있습니다. 또한, 소형 디자인과 작은 설치 공간 (small footprint) 을 제공하여 사용자는 자산을 활용하면서 공간을 절약할 수 있습니다. 이러한 기능을 갖춘 CS 450 은 안정적이고 안전한 포토레지스트 (photoresist) 모델을 제공합니다.