판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269608

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 반도체 장치 제조를 위해 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 설계 한 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 주 로 감광 화학물질 의 증착 에 사용 되는데, 그 중 에는 광감각 화학물질, 대부분 의 감광물질 (photoresist) 을 반도체 기판 의 표면 에 증착 시키는 데 사용 된다. 반도체 (semiconductor) 디바이스의 운영 주기 동안 발생하는 기술 변경 (process technology change) 과 고객 요구에 신속하게 대처할 수 있게 해 주는, 완전 자동화된 유연한 툴입니다. TEL CS450 기계는 PPC (photoresist processing chamber), 액체 전달 도구 및 소프트웨어 컨트롤러를 포함한 여러 가지 주요 구성 요소를 사용합니다. PPC에는 증착 장치 (deposition unit) 가 포함되어 있으며, 이는 솔루션 전송을 위해 연결된 2 개의 탱크가있는 직접 증착 및 후속 자산입니다. PPC 설계는 온도, 조명, 솔루션 구성의 정확한 조절을 통해 균일하고 고해상도 패턴을 보장합니다. 액체 전달 모델은 저장 탱크에서 증착 챔버 (deposition chamber) 로 포토 esist를 운반하는 데 사용됩니다. 소프트웨어 컨트롤러는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로, 장비를 원격 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 배치 매개변수 (deposition parameters) 의 실시간 디스플레이가 포함되어 있어 photoresist 코팅 프로세스 중에 필요에 따라 설정을 조정할 수 있습니다. 코팅 포토 esist 외에도 TOKYO ELECTRON CS 450 시스템은 photoresist strip, pre-bake 및 development와 같은 다른 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 그것 은 "폐기물 '을 최소화 하면서 여러 가지 액체 화학 물질 을 쉽게 섭취 할 수 있는 정밀 투약 장치 를 갖추고 있다. 기계는 또한 증착실 (deposition chamber) 에서 낮은 오염 수준을 유지하는 데 도움이되는 고급 청소 기술을 사용합니다. CS 450 툴을 더 큰 프로세스 라인에 통합하여 처리량 및 생산성 향상을 지원합니다. 이 자산은 안전 규정에 따라 설계되었으며, 스테인리스 스틸로 구성된 IPX-7 인클로저가 있습니다. 이는 환경 요인으로부터 높은 수준의 보호를 보장합니다. TEL CS 450 모델은 최적의 마이크로 제조 결과를 얻기 위해 빠른 처리 시간 (fast processing time) 과 정확한 제어가 필요한 작업에 이상적입니다. 고정밀도 증착과 정교한 소프트웨어 제어 (Software Control) 를 통해 현재 사용 가능한 가장 발전된 포토리스트 시스템 중 하나입니다.