판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269605

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 TEL (TOKYO ELECTRON) 의 모듈식 올인원 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다양한 사진 촬영 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. TEL CS450은 4 인치 웨이퍼에서 450mm 웨이퍼로 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. 빠른 처리 시간 (turnaround time) 과 최소한의 화학적 사용량을 제공하여 많은 생산 환경에서 비용 효율적인 솔루션이 됩니다. TOKYO ELECTRON CS 450은 최소 수준의 유지 보수를 통해 반복 가능한 정확성을 달성하는 고급 광학 기술을 사용합니다. 여기에는 큰 짝수로 빛을 투영하는 원격 중심 투영 렌즈와 큰 기판에서 안정적인 조명을 제공하는 QLM (Quad Linear Mirror) 이 포함됩니다. 이 장치는 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 따라 TEL/TOKYO ELECTRON RC-STEP 또는 RC6000의 두 가지 정렬 시스템으로 구성 할 수 있습니다. CS450에는 입자, 특히 특허를받은 막 개스킷 (gasket) 과 웨이퍼에 입자를 안전하게 포함하는 끈적한 매트 (mat) 를 줄이기 위해 몇 가지 주요 기술이 포함되어 있습니다. 이는 도전적인 기판에서도 높은 처리량을 보장합니다. 내부 공기 여과 (internal air filtration) 는 광학 요소에 입자가 축적되는 것을 방지하며, 기계 내에서 깨끗한 공기 만 흐르고 있는지 확인합니다. 높은 정확도 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON CS 450은 유연성이 높으며 공통 광저장제, 투명 필름 및 기타 광학 재료를 포함한 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스 (interface) 를 통해 새로운 프로세스를 신속하게 설정하고 기존 프로세스를 폐기할 수 있습니다. 따라서 변화하는 요구 사항과 다양한 운영 방법을 쉽게 수용할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON CS450은 빠르고 정확하며 효율적인 사진 해설을 위한 이상적인 솔루션입니다. 다양한 기능과 혁신을 통해 최고의 성능과 유연성을 제공합니다 (영문). 구성 가능하고 비용 효율적인 TEL CS 450은 모든 photolithography 응용 프로그램에 적합한 선택입니다.