판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269602

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 고급 반도체 장치 처리를 위해 특별히 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. TEL CS450은 고급 석판화 기술 (Advanced Lithography Technology) 을 사용하여 매우 정교한 photoresist 시스템을 사용하여 정확한 패턴 수정을 달성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 450의 가장 주목할만한 기능은 고해상도 코팅 프로세스입니다. 포토 esist (photoresist) 의 박막 (thin film) 을 정밀하게 코팅하고, 병행하여 고급 반도체의 대량 제조에 이상적인 선택을 할 수있는 아트 코터 (art coater) 가 장착되어 있습니다. 접촉 압력, 회전, 기판 속도 등의 증착 매개변수를 제어하면 매우 정확한 박막 코팅이 보장됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 의 온도는 광도 변이의 적절한 해석을 위해 광전자가 올바르게 증발되고 치료되도록 정확하게 조절된다. TOKYO ELECTRON CS450에는 조명 프로세스를위한 고급 에너지원도 장착되어 있습니다. 그것은 ULD (Ultraviolet Laser Diode) 기술을 사용하여 포토 esist의 노출 과정에 대한 최적의 에너지 용량을 제공하는 챔버 레이저 장치 (in chamber laser unit) 를 가지고 있습니다. 이를 통해 기존 노출 소스와 비교할 때 더 빠른 웨이퍼 (wafer) 노출 및 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 또한 ULD 기술 (ULD Technology) 은 레이저의 균일 한 출력으로 인해 조정없이 다양한 패턴을 빠르고 안정적으로 노출시킵니다. TEL CS 450은 또한 매우 깨끗한 환경을 갖추고 있습니다. Class 10000 (Class 1) 청소실이 있으며, 입자 오염이 없는 환경을 제공하여 반도체 장치에 필요한 매우 깨끗한 상태를 유지합니다. 환경 의 청결 함 을 더욱 유지 하기 위하여, CS 450 에는 수많은 "마이크로필터 '와 후면" 펌프' 장치 도 갖추어져 있다. 전반적으로, CS450은 고급 반도체 장치의 대량 제조를 위해 설계된 안정적이고 고급적인 포토레시스트 머신 (photoresist machine) 입니다. 고해상도 코팅 프로세스, 신뢰성 있는 에너지 소스 (Energy Source), 매우 깨끗한 환경 등으로 인해 고품질의 고해상도 반도체 (Semiconductor) 장치를 생산할 수 있습니다.