판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269598

TEL / TOKYO ELECTRON CS450
ID: 9269598
System CANON MPA 3000 Robot PC Coater chiller.
TEL/TOKYO ELECTRON CS450 (TEL/TOKYO ELECTRON CS450) 은 다양한 산업에서 웨이퍼 및 기타 기판에 감광 물질을 증착하여 표면에 패턴 또는 층을 생성하는 고급 포토레지스트 장비입니다. 이 시스템은 감광 물질의 균일 한 층 (layer of photosensitive material) 의 패턴화 및 증착을위한 자동화 된 단계가있는 완전 통합 장치입니다. 이 장치는 고정밀 마이크로포지셔닝 (micropositioning) 기술을 사용하여 기계의 웨이퍼를 정확하게 정렬하고, 피드백 제어 도구를 내장하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 자산의 통합 증착 모듈에는 듀얼 빔 전자 빔 이미징, 조합 레이저 제트 이미징 모델, 연속 고속 저항 코팅 장비가 포함됩니다. 듀얼 빔 EBI (Electron Beam Imaging) 는 1 마이크로 미터 이하의 반복 정확도로 매우 높은 해상도의 이미지를 효율적으로 생성합니다. 이는 최소 처리 시간을 사용하면서 정확한 패턴화와 증착을 보장합니다. 레이저-제트 이미징 (Laser-Jet Imaging) 시스템을 조합하여 세부 패턴과 라인을 생성하면서 노출 시간을 단축할 수 있습니다. 연속 고속 저항 코팅 장치 (continuous, high-speed resist coating unit) 는 높은 라인 에지 컨트롤로 다양한 저항 패턴에서 균일 한 저항 커버리지를 제공합니다. 또한 TEL CS450 에는 오프라인 지원 시스템, 작업 예약 도구, 고급 웨이퍼 처리 (advanced wafer handling) 기능 등 여러 가지 고급 기능이 장착될 수 있습니다. 오프라인 지원 (Offline Support) 자산을 통해 특정 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. 작업 스케줄링 장비는 특정 일상적인 작업에 맞게 조정할 수 있으며, 수작업 (manual labor) 시간을 줄이고 효율성을 높일 수 있습니다. 마지막으로, 고급 웨이퍼 처리 (advanced wafer handling) 기능을 통해 시스템이 코팅 모듈에서 큐링 스테이션으로 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있으므로 처리량이 향상됩니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON CS 450은 강력하고 다양한 포토레지스트 유닛으로, 여러 산업 및 응용 분야에 적합합니다. 이 제품은 뛰어난 해상도와 고밀도 결과를 제공하며, 처리 시간을 줄이고 효율성을 높이도록 설계되었습니다. 이 올인원 머신 (All-in-one machine) 은 감광 물질의 정확한 패턴화와 증착이 필요한 모든 프로젝트에 적합한 선택입니다.
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