판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597

텔/도쿄 전자 CS450 (TEL/TOKYO ELECTRON CS450) 은 반도체 웨이퍼에 미세 구조 생성 과정을 자동화하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특수 노출 램프, 회전 웨이퍼 스테이지, 가스 퍼지 장치 (gas purge unit) 및 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하기위한 진공기로 구성됩니다. 금속 할라이드 램프 인 노출 램프 (exposure lamp) 는 미세 구조물의 정확한 영상을 위해 파장 351nm의 단파 자외선을 방출합니다. 특정 노출 수준에 대해 램프의 파장 및 조도 (irradiance) 를 설정할 수 있으므로 정확하고 일관된 이미징이 가능합니다. 회전 웨이퍼 스테이지 (rotating wafer stage) 는 1800rpm에서 웨이퍼를 회전시키고 사용자가 정의한 단위로 노출 시간을 설정하는 모터 제어 턴테이블입니다. 스테이지에는 부드러운 동작 및 정확한 위치 정밀도를 보장하는 진동 감쇠 메커니즘이 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 미세 구조를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 가스 퍼지 도구 (gas purge tool) 는 포토 esist 처리에 필요한 높은 진공 수준을 달성하는 데 사용됩니다. 특수 고효율 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 는 공정 챔버의 필요한 진공 및 스크러빙을 제공합니다. 이를 통해 처리 중에 오염 물질이 챔버에 도입되지 않습니다. 진공 자산은 여러 개의 센서가있는 폐쇄 루프 (closed-loop) 모델로 구성되며, 각 공정 챔버의 압력, 온도 및 부분 압력을 모니터링합니다. 이 장비 는 진공 상태 를 정밀 히 제어 할 수 있게 해 주며, 따라서 광전사 "시스템 '의 정확 한 작동 을 가능 하게 한다. 전반적으로 TEL CS450은 사진 해설을 처리하기위한 신뢰할 수있는 도구입니다. 첨단 노출 램프 기술, 정교한 웨이퍼 스테이지 컨트롤 (wafer stage control) 및 정확한 진공 단위 (vacuum unit) 규제를 결합하여 반도체 기판에서 미세 구조를 정확하게 제조 할 수 있습니다.