판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269596

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 업계 규모의 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. TEL CS450 (TEL CS450) 은 포토 esist를 웨이퍼에 정확하고, 반복적이고, 신뢰할 수 있도록 설계된 완전 자동화 시스템입니다. 이 장치는 자동 정밀도로 양성 또는 음성 톤 포토 esist를 모두 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 특허를받은 레이저 센서 (laser-sensor) 세트를 사용하여 웨이퍼 표면을 스캔하고, 두께, 선 너비, 폭의 균일성을 미리 정한 레이어의 포토레지스트를 적용합니다. 이 도구는 다양한 고급 기술을 통합합니다. TOKYO ELECTRON CS 450은 photoresist의 적용을 3 단계로 자동화합니다. 스피너, 레이저 라이터 및 온도 컨트롤러를 저항합니다. 저항 스피너 (resist spinner) 는 초기 적용 단계를 수행하고, 웨이퍼를 회전시키고, 포토 esist를 균등하고 정확하게 적용합니다. "레이저 '작성자 는" 에치' 를 "웨이퍼 '표면 에 적용 시키는데, 이것 은 일종 의" 레이저' 를 사용 하여 일종 의 "레이저 '를 내어 특정 한" 패턴' 을 끌어낸다. 마지막으로, 온도 컨트롤러 (temperature controller) 는 실내에서 안정된 온도를 유지하고 웨이퍼를 가로 질러 포토 esist의 일관되고 반복 가능한 적용을 위해 임무를 수행합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 450은 응용 프로세스 동안 최고 수준의 정확도, 안정성 및 균일성을 보장하기 위해 여러 고급 자동 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 각 작업을 수행하기 전에 모든 에셋의 구성 요소가 올바르게 작동하는지 확인하는 '자체 평가 (self-evaluation)' 와 잠재적 오류 원인을 감지하고 보정할 수 있는 자동 피드백 (auto-feedback) 모델이 포함됩니다. 또한, 정교한 필터링 시스템은 각 프로세스를 시작하기 전에 공중에서 오염 물질을 제거합니다. 도쿄 전자 CS450 (TOKYO ELECTRON CS450) 은 검증되고 신뢰할 수있는 장비로 최첨단 나노 기술 장치를 만드는 데 사용되었습니다. 고급 기술은 반도체 소자 제조에서 포토레시스트 (photoresist) 응용 프로그램을 위한 효율적이고 사용자 친화적 인 솔루션을 제공합니다.