판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9267387

TEL/TOKYO ELECTRON CS450은 광범위한 정확한 패턴 작업을 수행 할 수있는 사진 저항 장비입니다. 이 시스템은 리토그래피, 스핀온 코팅 (spin-on coating), 웨이퍼 프로세스 개발 등의 프로세스를 정확성과 효율성으로 수행하도록 설계되었습니다. 첨단 서보 제어 (Servo Control) 기능을 통해 미세 (Fine) 패턴화를 달성하는 기능을 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 작고, 효율이 높은 설계를 가지고 있으며, 리소그래피 (lithography) 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 운영 및 유지 보수가 편리합니다. 그것 은 "가스 '의 수명 을 연장 하는 고급 광학 기계 를 갖추고 있다. 이송 속도가 빠른 최적화된 수치 제어 (Optimized Numerical Control) 는 원하는 패턴을 달성하는 데 소요되는 시간을 줄여줍니다. 이 도구는 도전적인 기판에서도 뛰어난 저항 기능을 제공합니다. 세 가지 유형의 처리를 사용할 수 있습니다. 수동 리소그래피, 용해 유형 및 무전기 도금. 이러한 모든 프로세스는 높은 정확도 (high accuracy) 와 속도 (speed) 를 조합하여 실행되므로 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 자산의 모니터링 및 제어 기능을 통해 온도, 습도, 챔버 압력 (Chamber Pressure) 을 정확하게 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 코팅 프로세스 (coating process) 와 저항 프로세스 (resist process) 모두에 이상적인 작업 환경이 유지됩니다. 이 모델에는 다양한 기능이 장착되어 있어 고급 프로세스 개발 (Advanced Process Development) 에 이상적인 선택입니다. 압력과 온도 조절이 최적화된 고급 스핀온 (spin-on) 코팅 장비를 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. 또한 더 많은 수의 레시피 스텝을 제공하며, 이를 통해 사용자는 다양한 코팅 (coating) 및 패턴화 (patterning) 작업을 실행할 수 있습니다. TEL CS450 (TEL CS450) 은 속도와 용이성으로 정확한 패턴을 달성하도록 설계된 고급 포토리스 시스템입니다. 다용도 (versitile) 기능을 사용하면 산업 및 연구 환경 모두에서 고급 프로세스 개발에 이상적인 선택이 됩니다. 이 장치는 다양한 기판에서 리소그래피, 증착, 에칭과 같은 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 고급 옵티컬 머신 (optical machine) 및 향상된 제어 기능을 통해 높은 정확도와 반복 처리 주기가 필요한 어플리케이션에 적합합니다.