판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399469

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 미세 전자 석판 공정에 대한 강력하고 정확한 제어를 제공하는 포토 esist 장비입니다. 시스템의 기능을 통해 서브 미크론 피쳐 해상도 (sub-micron feature resolution) 기능을 사용하여 석판화 레이어를 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 장치는 공압 진공 척 (pneumatic vacuum chuck) 과 함께 작동하여 저항 코팅의 균일성을 향상시킵니다. 플랫폼 자체는 저항층 (resist layer) 의 일관된 두께를 보장하기 위해 닫힌 루프 (closed-loop) 제어를 중심으로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 저항 증착 (resists depositing) 과정에서 노출된 영역의 수준을 모니터링하여 품질 (quality) 프로세스가 더 좋아집니다. 또한 대상 회로의 결함 패턴에 따라 공구 (Tool) 에 의해 노출 길이가 자동으로 조정됩니다. 이 자산은 고해상도 디스플레이 및 자동 필름 오버랩 기능을 갖춘 광 투영 모델을 사용합니다. 또한, TEL CS-600 플랫폼은 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 리소그래피 요구에 맞게 장비 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 사용되는 저항의 공식 (formula) 과 오프닝 깊이 (opening depth) 를 정확하게 제어하는 개발자 메커니즘을 포함합니다. 이것은 몇 가지 독점 알고리즘을 사용하여 수행되며, 이는 또한 균일 성 성능을 유지하는 데 사용됩니다. 통일성을 강화하기 위해 Cleaner & Tracking Unit (Cleaner & Tracking Unit) 이 이 플랫폼 내에 통합되어 리소그래피의 성능을 모니터링하고 규제합니다. 온보드 진단 유틸리티 (On-board diagnostics) 는 프로세스 중에 발생하는 모든 문제를 파악하고 해결하여 결과가 사용자가 설정한 정확한 사양을 준수하도록 합니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 은 우발적 인 활성화 또는 부적절한 노출에 대비하여 최대한의 안전을 위해 기계를 사전 프로그래밍할 수있는 많은 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한, 플랫폼은 자가 모니터링 (Self Monitoring) 방식으로 공구의 모든 구성 요소가 제대로 작동하는지 확인합니다. CS-600 포토레시스트 (photoresist) 자산은 마이크로 일렉트로닉 리소그래피 (microelectronic lithography) 프로세스를 강력하고 정확하게 제어하여 리토그래피 레이어를 서브 미크론 기능 해상도 기능으로 신속하게 처리 할 수 있습니다. 안정적이고 민첩한 이 모델은 완벽하게 업그레이드할 수 있으며, 진단, 추적, 안전 기능을 통해 최고의 품질의 리소그래피 (lithography) 결과를 얻을 수 있습니다.