판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468

텔/도쿄 전자 CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 정밀도로 패턴화하기위한 종합적이고 고급 솔루션을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최고 수준의 성능, 안전, 신뢰성을 갖춘 완전하게 자동화된 프로세스 흐름을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 석판화 도구 (advanced lithography tools) 와 프로세스의 조합으로, 최고 수율로 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. TEL CS-600에는 사진 정렬 기계, 스캐너, 니드랙 노출 도구, 2 개의 챔버 및 2 개의 베이킹 스테이션이 포함됩니다. 사진 정렬 에셋은 photomask 및 기판을 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 가장 효율적인 패턴화를 통해 수율이 가장 높습니다. 스캐너는 고출력 옵틱스 (optic) 를 사용하여 캡처하고 초점을 맞춘 다음, 웨이퍼에 패턴을 투영하고 반복합니다. 니들 랙 노출 모델은 2 개의 노출 헤드, 디스펜스 헤드 (dispense head) 및 포토 esist에서 패턴을 그리는 데 사용되는 작은 바늘 세트로 구성됩니다. 두 방 은 연속적 으로 함께 작용 하여 "포토레지스트 '를 적용 한 다음" 레지스트' 물질 을 개발 하여 제거 한다. 첫 번째 방에는 분산 탱크 (distersion tank) 가 있으며, 여기서 포토 esist가 혼합되어 기판에 분배됩니다. 또한 "셔터 '를 포함 하여 저항 을" 패턴' 에 노출 시키고 발전 시킨다. 노출 후, 웨이퍼는 공기 역학적 건조기, 폐수 오염 장비, 화학 제거 챔버 (chemical removal chamber) 가 장착 된 두 번째 챔버로 옮겨집니다. 베이킹 스테이션은 또한 도쿄 전자 CS-600 시스템에 고도로 자동화되어 통합되어 있습니다. "베이킹 '하는 동안, 감광제 의 균일 한 경화 와 안정성 을 보장 하기 위하여 온도 조절 환경 이 유지 된다. 베이킹 스테이션은 etching, etchback 및 cleaving과 같은 다른 프로세스에서도 사용할 수 있습니다. CS-600은 빠른 프로토타입과 고급 마이크로 제작 프로세스를 위해 설계되었습니다. 다른 시스템과 함께 사용할 경우 3D 인쇄 프로세스에 특히 효과적입니다. 고급 리소그래피 프로세스와 TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 이 제공하는 자동화된 프로세스의 조합은 기술적으로 복잡한 제품을 생산하기에 보다 효율적이고, 안정적이며, 높은 성능을 제공합니다.