판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399466

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment는 5 미크론 장치 제조의 생산성과 정확성을 최적화하기 위해 설계된 고급 사진 처리 시스템입니다. TEL CS-600 포토레스 장치 (Photoresist Unit) 는 최신 고급 이미징 기술로, 5m 미만의 Aresolution으로 가장 작은 기능을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다중 노출의 반복 속도가 높아 회로 패턴 (circuit pattern) 과 피쳐를 대량으로 생산할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool은 고속 Imager/Scanner 및 Autofocuser를 특징으로하며 노출 간 빠른 전환을 통해 높은 처리량을 제공합니다. 내장형 옵티컬 정렬기 (Optical Aligner) 와 정렬 모니터 (Alignment Monitor) 는 절묘한 정확도와 정밀도를 제공하는 반면, 에셋의 감소 스캔 기능은 5 미크론 너비까지 최첨단 라인을 생산할 수 있습니다. 이 모델에는 빠른 웨이퍼 교환을위한 Programmable Chuck도 제공됩니다. CS-600 Photoresist 장비는 여러 photoresist 및 흡수 제를 처리 할 수 있습니다. 각종 코일 지름 (coil diameter) 과 디바이스 (device) 크기에 사용되는 프로세스 레시피를 기반으로 다양한 장치 생산 요구 사항에 적합한 재료를 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 사용자의 특정한 요구에 맞는 다양한 사진 (photolithography) 제작 셀을 만들 수 있는 호환 가능한 프로그램을 제공합니다. 이 장치의 통합 진공/압력/냉각 모듈은 진정한 프로세스 유연성과 안정성을 제공하는 반면, 전체 카세트-카세트 로딩 및 언로딩 머신은 낮은 TCO (총소유비용) 로 생산성을 향상시킵니다. 이 기계는 고성능 측정 및 도량형 (metrology) 패키지로 완벽하게 자동화되어 지원되며, 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 이 기계는 다른 TEL 장비와 손쉽게 통합할 수 있으며, 확장 가능한 솔루션을 제공하여 디바이스 운영 요구 사항의 구체적인 요구 사항을 충족합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool은 5 미크론 장치 제조에서 균일 한 높은 생산성과 정확성을 보장합니다. 고급 이미징 기술과 통합 진공/압력/냉각수 (coolant module) 모듈을 갖춘 이 자산은 효율적이고 비용 효율적인 사진 식자술 (photolithography) 생산 셀을 제공합니다.