판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399456

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 고성능 유전체 패턴화를 위해 설계된 포토 esist (PR) 장비입니다. 올인원 (All-in-One) 플랫폼을 활용하여 가장 비용 효율적이고 효율적인 포토레시스트 개발 및 건식 에칭 프로세스를 제공합니다. TEL CS-600 포토레시스트 (photoresist) 시스템은 집적회로, LED 조명, 디스플레이 제품 제조와 같은 정확한 재료 패턴화가 필요한 광범위한 어플리케이션에 적용 될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 은 빠른 속도의 정밀한 단일 휠 설계로, 입자가 없는 처리 및 민감한 구성 요소 처리가 가능합니다. 이중 스캐너 장치를 갖추고 있으며 각 장치는 각각 90kHz 및 200kHz의 이중 파장 KRYDFE 출력으로 최대 100 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 CS-600 은 더 빠른 속도, 정확성 및 더 큰 처리 용량을 위해 4 륜 옵션 (옵션) 을 제공합니다. 4 륜 옵션은 또한 향상된 웨이퍼 사전 조건 (wafer preditioning) 을 제공하여 웨이퍼를 더 나은 사전 노출 및 코팅할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 포토 esist 유닛은 PR의 다양한 코팅 및 두께와 함께 사용할 수 있으며, 개발 된 패턴의 벽 두께를 잘 제어합니다. TEL CS-600은 또한 반자동 PR 스크럽 프로세스를 갖추고 있으며, 패턴 개발 중에 균일하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 데이터 입력 측면에서 TOKYO ELECTRON CS-600은 회사의 SPS-nano Manager 데이터베이스 소프트웨어와 통합되어 웨이퍼 기판 속성 및 매개 변수를 제어합니다. 이 시스템은 또한 실시간 기판 데이터 로드 프로세스를 제공하며, 데이터베이스 인터페이스를 사용할 수 있습니다. 안전 측면에서 도구는 ISO 14644-13 입자 및 용매가 없는 환경 요구 사항을 준수합니다. 전반적으로, CS-600 포토레시스트 (photoresist) 자산은 비용 효율적이도록 설계되었으며, 사용자가 재료를 처리하면서 정밀도, 속도, 안정성을 제공하며, 프로세스의 민감한 부품에 대한 손상 위험을 줄입니다. 우수한 wafer preditioning, 우수한 PR 스크럽 프로세스 제어 및 실시간 기판 데이터 로딩 (data-loading) 기능을 제공함으로써, 사용자는 모델의 최대 처리 용량과 최고의 결과를 얻을 수 있습니다.