판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399455

ID: 9399455
빈티지: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 반도체 제조 공정에 사용되는 특수 포토 esist 장비입니다. 이 장비는 레이저 소스 (laser source) 를 사용하여 기판의 최상위 계층의 저항성을 줄여 네거티브 (negative) 및 양수 (positive) 광 다이오드가 전자 부품의 기판을 영구적으로 수정하는 에칭 프로세스를 촉진할 수 있습니다. TEL CS-600 (TEL CS-600) 의 레이저 소스는 기판의 작은 영역을 조명함으로써 작동하며, 광학 시스템에 반사되어 조명된 영역을 보다 정확하게 분석합니다. 광학 장치는 두 개의 렌즈 (초점 렌즈 및 광검출기 렌즈) 로 구성됩니다. 초점 "렌즈 '는" 레이저' 원 에서 광검출기 "렌즈 '로 광선 을 이동 시켜서 작용 한다. 그 다음 광검출기 "렌즈 '는 광선 을" 기판' 의 표적 영역 으로 전달 하는데, 이것 은 광선 에 노출 되어 표면 의 저항성 을 더욱 높인다. 저항 감소를 통해 표면이 에칭 (etching) 에 더 취약해지며, 이는 기판을 영구적으로 수정합니다. 이 기계는 또한 최신 CCD (Charged-Couple Device) 카메라를 사용하여 레이저 대상 영역에 관한 정보를 수집합니다. CCD 는 대상 영역 (area area) 에 도달하는 빛의 양을 감지하고 기록하여 정보를 광학 도구 (optical tool) 로 다시 보냅니다. 이 장치는 도쿄 전자 CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 에 더 정확한 처리를 위해 더 정확한 데이터를 제공하여 다른 포토 esist 시스템보다 가장자리를 제공합니다. 또한 CS-600은 저소음 온도 안정화 증폭기 (stabilized amplifier) 를 사용하여 CCD에서 신호를 감지하여 컴퓨터로 전달합니다. 따라서 데이터 수집 프로세스의 정확성과 속도가 향상됩니다. 또한, 에셋에는 거울 (mirror) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 레이저 빔의 각도를 조정하여 이상적인 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 정교한 레이저 소스, 광학 중심 렌즈 및 CCD 기반 카메라를 사용하여 기판 표면의 저항성을 줄이는 고급 포토 esist 모델입니다. 장비에는 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 와 미러 (mirror) 가 장착되어 있어 레이저 각도를 세밀하게 조정하여 정확도를 높일 수 있습니다.
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