판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380689

TEL CS-600포토레스 장비 (Photoresist Equipment) 는 반도체 제작 요구를 충족하는 다용도 및 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 광전물질 (Photoresist) 은 빛에 민감하고 다양한 목적으로 제조 과정에서 반도체 웨이퍼 (semiconductor wafer) 표면에 강착되는 물질이다. TOKYO ELECTRON CS-600 포토레스 시스템 (Photoresist System) 을 통해 엔지니어는 포토 esist를 궁극적 인 제어 및 정확도로 표면에 정확하게 배치 할 수 있습니다. 컴퓨터 제어 액체 제트 (jet) 에 의해 달성되는 스프레이 공정을 사용하여 정확한 스팟 온 증착을 허용합니다. 이것은 복잡한 마스킹 및 패턴 요구 사항을 가진 응용 프로그램에 이상적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 포토레스 장치 (Photoresist Unit) 에는 프로세스 간 웨이퍼, 프로세스 무결성 및 품질 보장을 위한 챔버 클리닝 프로그램, 고수율 처리를 위한 정확한 전원 공급 장치 등의 자동 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 툴은 프로세스 전반에 걸쳐 모든 중요한 매개변수를 기록할 수 있는 고급 데이터 로깅 기능을 제공합니다. TEL CS-600 Photoresist Asset는 모든 요구 사항이나 프로세스 요구 사항에 맞게 다양한 설정을 제공합니다. 최대 300 ° C의 온도 처리, 최대 1 Torr의 진공 설정, 2 초에서 2 시간의 광범위한 프로세스 시간이 가능합니다. 이 모델은 또한 챔버 압력, 습도, 유속, 가스 구성 등을 제어합니다. TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment는 모든 반도체 제작 요구에 적합한 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 고급 자동화 (Automation) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능이 결합된 사용자 친화적인 설계로 모든 프로젝트에 적합한 솔루션이 됩니다. 공학자들은 자사의 정확성과 유연성을 바탕으로 포토레시스트 (photoresist) 처리 요구 사항을 최대한의 품질과 신뢰성으로 해결해 드립니다.