판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688

ID: 9380688
빈티지: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 반도체 대량 생산에서 고급 기판을 코팅하고 개발하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최신 기술을 활용하여 업계 표준을 충족하는 고품질, 고효율 결과를 제공합니다. TEL CS-600은 기판 활용도를 최적화하도록 설계되었으며, 빠른 웨이퍼 처리 장치로 최대 8x25 인치 기판을 수용할 수 있습니다. 이 제품은 로봇을 이용하여 카세트 (cassette) 에 자동 카세트를 장착하고, 웨이퍼 처리량, 웨이퍼 (Wafer) 전송 및 웨이퍼 코팅 및 개발 단계를 모니터링하는 내장 추적 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구를 사용하면 포토리스 연주자 (photoresist) 를 신속하게 코팅하고 레시피 (recipe) 워크플로를 단순화하여 광범위한 세제 솔루션에 적합합니다. 또한이 자산은 많은 스핀 및 스프레이 처리 화학 물질과 호환됩니다. 고정밀 TOKYO ELECTRON CS-600은 장비 성능에 대한 지속적인 모니터링을 수행하고 필요할 때 즉시 수정 조치를 취할 수있는 자체 진단 (self-diagnostics) 모델을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 온대, 공기 속도, 습도, 힘, 농도, 변위 및 가속과 같은 여러 매개변수를보고하는 포괄적 인 단위 도량형을 제공합니다. 이 기계에는 프로세스 제어를 위한 고급 활성 도구가 통합되어 있습니다. "가스 '의 압력, 온도, 농도 및 용매 유량 을 탐지 하고 조정 하여 가장 높은 수준 의 정확도 를 유지 할 수 있다. 이 도구의 고급 평가 도구 (Advanced Evaluation Tools) 는 자동화된 검사와 운영자의 시각적 검사를 결합하여 제품의 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다. CS-600 은 운영자의 생산 라인에 완벽하게 통합될 수 있으며, Wafer Transfer, Chemical Mix, 기판 Transfer 등 수많은 모듈을 동시에 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 포토레시스트 자산은 고성능 및 생산성 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. TEL CS-600 은 동급 최고 속도와 최고 수준의 처리량을 제공함으로써, 생산의 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 모델은 보다 효율적이고 안정적인 프로세스 운영을 목표로 하는 반도체 (semiconductor) 공급업체에게 이상적인 선택입니다.
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