판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380685

텔/도쿄 전자 CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 반도체 제조 및 마이크로 전자 조립을위한 리소그래피 프로세스를 능률화하고 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 포토 esist 장비입니다. 이 고급 시스템은 뛰어난 균일성과 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. TEL CS-600은 고급 패턴 생성기와 전용 옵티컬 엔진으로 구동되는 강력한 이미징 장치를 사용합니다. 이는 정확하고 균일한 조명과 등록을 보장하며, 가능한 최고의 대비를 위해 정확한 공간 주파수 (spatial frequency) 선택을 보장합니다. 패턴 생성기는 10kV 전자 빔, 200MHz 및 5Hm 초점 렌즈 및 광학 노출 가이드 머신을 갖춘 2 개의 Scan Heads로 구성됩니다. 이 조합은 매우 정확한 노출 및 노출 매개 변수의 미세 튜닝을 허용합니다. 이 도구에는 또한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 독점 소프트웨어 도구 세트가 제공됩니다. 이 소프트웨어를 사용하면 모든 매개변수 (parameter) 와 조건을 입력하여 기대에 부합하는 결과를 얻을 수 있습니다. Photoresist, 베이킹, 노출, 에칭, 스트리핑 및 기타 기능은 최적의 정밀도와 결과를 고려합니다. 도쿄 전자 CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 은 진공실 및 스테이지 제어를 통해 보다 부드러운 패턴 생성을위한 고정밀 스테이지 이동과 뛰어난 해상도를 사용합니다. 또한, 자산에는 비용 절감 프로세스 동안 프로파일 제어 및 모니터링을위한 고급 디지털 (advanced digital) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 결론적으로, CS-600 포토레스 (photoresist) 모델은 반도체 부품의 제작 과정을 능률화하고 개선하는 뛰어난 기능과 이점을 제공합니다. 뛰어난 이미징 장비, 고급 소프트웨어, 정밀 제어 기능, 탁월한 정확성, 균일성 등으로 인해 반도체 업계에서는 이러한 최첨단 시스템이 필수적입니다.