판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380684

ID: 9380684
빈티지: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 (TEL CS-600) 은 웨이퍼 표면에서 정확하고 고품질 저항을 생산하기 위해 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 설계 한 포토 esist 장비입니다. TOKYO ELECTRON CS-600은 노출, 냉각 및 저항 스트리핑 기능을 포함하는 완전 자동화 시스템입니다. 노출 과정은 자외선 (UV) 의 전체 스펙트럼에 걸친 가변 광원이 적외선 (IR) 빛에 보이는 고급 시력 장치 (advanced vision unit) 에 의해 관리됩니다. 이 기계는 또한 가변 속도 냉각 싱크 (variable speed cooling sink) 를 포함하여 열 관리를 개선하고 작고 복잡한 전도선을 형성 할 수 있습니다. 저항 스트리핑 (resist stripping) 프로세스는 스핀 클리너 (spin cleaner) 모듈에서 수행되며, 이는 다양한 웨이퍼 크기와 모양에서 저항의 높은 정확도를 생산할 수 있습니다. 고급 이미징 도구를 사용하고, 자동 정렬 및 스테이지 자동 정렬 (stage auto-alignment) 과 같은 기능을 갖춘 CS-600은 마이크로미터 정밀도로 포지셔닝 단계에 웨이퍼를 정렬할 수 있습니다. 이미징 (Imaging) 도구에는 자동 초점 (auto-focus) 기능이 장착되어 있어, 항상 안정적인 이미지를 보장하며, 수작업 없이 고정밀도 저항을 만들 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 1000 옹스트롬 (1nm) 이하의 두께로 저항을 생성 할 수 있습니다. TEL CS-600은 친환경적인 모델로, 노출 중 안전을 보장하기 위해 EPA 규정을 준수합니다. 이 장비에는 사고 가능성을 줄이기 위해 다양한 안전 기능 (예: 자동 차단 시스템) 이 장착되어 있습니다. 도쿄 전자 CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 은 다양한 기능을 갖춘 고급 포토리스 (photoresist) 시스템으로 정확하고 고품질 저항을 생산할 수 있습니다. 이 장치는 사용자 친화적이며, 안전 표준 (Safety Standard) 을 준수하며, 다양한 두께와 복잡성으로 저항을 생산할 수 있습니다. 이를 통해 CS-600은 반도체 생산, 의료 기기 제조 등 다양한 산업 분야에서 사용할 수 있습니다.
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