판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380683

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment는 반도체 산업의 사진 분석 프로세스에 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. TEL CS-600 은 Photolithography 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있는 안정적인 통합 시스템으로, 최첨단 옵티컬 성능과 고급 웨이퍼 처리 기능으로 설계되었습니다. 이 장치는 정밀 이미징용 고수치 조리개 (NA), 동적 전력 조정을 위한 우수한 레이저 조사 전력 제어 (isradiation power control) 등 뛰어난 광학 성능을 제공합니다. 또한 자동화된 기판 정렬, 웨이퍼-웨이퍼 온도 균일성 (wafer-to-wafer temperity), 제어 공정 온도의 냉각 속도 최적화 등 고급 웨이퍼 처리 기능이 장착되어 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON CS-600에는 최대 유연성을위한 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치, 안전을위한 비상 정지 기능이 있습니다. CS-600은 또한 다양한 리소그래피 요구에 맞게 다양한 photoresist 옵션을 제공합니다. 여기에는 SMPR (Single Mode Photoresist), MMPR (Multi Mode Photoresist) 및 PPR (Proactive Photoresist) 이 포함됩니다. SMPR은 뛰어난 명암과 함께 높은 수준의 민감도와 디테일을 제공합니다. MMPR (Photoresist) 은 복잡한 Photolithography 작업에 적합하며, 기판으로 구운 Photoresist로 큰 패턴을 생성 할 수 있습니다. PPR은 3D 구조를 위해 설계된 고성능 포토레지스트이며, 고급 리소그래피 (lithography) 결과를 얻을 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600에는 설치 및 작동이 용이하도록 컴팩트한 구성이 있습니다. 또한, 특정 고객 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 다양한 표준/맞춤형 구성요소를 제공합니다. 또한, 이 도구의 모듈식 설계는 개별 photoresist 구성 요소를 쉽게 대체 할 수 있습니다. TEL CS-600 포토레시스트 자산 (Photoresist Asset) 은 고급 리소그래피 프로세스를 위한 강력하고 안정적인 도구이며 프로세스 결과에서 높은 수준의 재현성과 균일성을 제공할 수 있습니다. 이 모델은 광범위한 사진 (photolithography) 프로세스에 대한 신뢰성이 높은 결과를 제공하며, 반도체 제조에 적합합니다.