판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment는 반도체 제작에서 기판을 패턴화하고 에칭하기위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 시스템은 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 기술을 사용하여 기판에 photoresist 층을 증착시킵니다. TEL CS-600은 2 개의 주요 부품, 프로세스 챔버 및 소스 챔버로 구성됩니다. 공정 챔버는 진공 펌프를 수용하는 단단히 밀봉 된 챔버입니다. 소스 챔버에는 프로세스에 필요한 컴포넌트가 포함되어 있습니다. 기판 을 공정 "챔버 '에 적재 할 수 있으며, 일단 밀봉 되면" 펌프' 는 약실 을 대피 하기 시작 한다. 진공 상태 에서, 소스 챔버 의 구성 요소 들 은 원하는 온도 까지 가열 된다. 그런 다음, 여러 가지 "가스 '를 약실 에 도입 하여 증착 과 식각 과정 을 시작 할 수 있다. TOKYO ELECTRON CS-600은 폴리 실리콘, 도핑 산화물, 질화물, SiGe/SiGe 등으로 만든 기질을 포함하여 다양한 기질을 패턴화하고 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. 에칭에는 염소 및 불소 기반 가스가 사용됩니다. photoresist 층의 경우, CS-600은 단량체 및 initiator 가스와 관련된 중합 과정을 사용하여 photoresist를 생성합니다. 중합 프로세스를 통해 도구는 포토 esist-processing 응용 프로그램에 비교할 수없는 성능을 제공 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON CS-600에는 몇 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이 장치에는 내부 안전 밸브, 퍼지 머신 (purge machine) 및 배기 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 안전 기능 (Safety Features) 은 처리 중 환경에 유해 물질이 방출되지 않도록 도와줍니다. TEL CS-600 (TEL CS-600) 은 포토레시스트 (photoresist) 처리 어플리케이션을 위한 효율적이고 안정적인 도구이며, 반도체 업계에서 탁월한 성능과 활용성을 제공하도록 설계되었습니다. 다재다능한 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset은 반도체 제조업체들 사이에서 선호되는 선택입니다.