판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380680

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 ('TEL CS-600') 은 반도체 장치 제조에 사용되는 자동 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 단일 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 또는 듀얼 웨이퍼 카세트 로더 (dual wafer cassette loader) 로 구성할 수 있으며 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 카세트 웨이퍼 처리 (cassette wafer handling) 에 최적화된 카세트가 있으며, 수동으로 웨이퍼를 언로드할 필요가 없습니다. 도쿄 전자 CS-600 (TOKYO ELECTRON CS-600) 은 작업을 간편하게 제어하기 위해 고급 컴퓨터 머신을 사용합니다. 이 도구는 로컬 모드와 원격 모드의 두 가지 작동 모드를 허용합니다. 로컬 모드에서는 외부 작동 제어판에서 에셋을 작동시킬 수 있습니다. 원격 모드에서는 LAN (Local Area Network) 의 컴퓨터에서 모델을 작동시킬 수 있습니다. CS-600에는 프리 베이크 및 노출 후 베이크 시퀀스에 대한 다양한 클리닝 프로세스가 있습니다. 청소 과정에는 린스 및 스핀 드라이, 스프레이 및 스핀 드라이, 제트 및 스핀 드라이, 에어 블로우 및 스핀 드라이가 포함됩니다. 이 외에도, 특수 청소 요구에 대한 수동 및 자동 청소 프로세스가 있습니다. 텔/도쿄 전자 CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 고급 스캐너 및 모션 제어 장비를 사용하여 웨이퍼의 포토 esist 기능 배치 및 오버레이를 검사하고 최적화합니다. 조정 가능한 스팟 크기와 초점 깊이 범위를 갖춘 완전 자동화 된 소프트웨어 기반 광 정렬기를 갖추고 있습니다. 또한 TEL CS-600 은 고급 로더/언로더 (unloader) 시스템을 갖추고 있어 처리 시간을 단축하여 포토리스 (photoresist) 재료를 보다 신속하게 처리할 수 있습니다. 통합 워크벤치 (Integrated Workbench) 를 사용하면 로드 및 언로드 시간이 단축되고, 완전하게 자동화된 클리닝 장치를 사용하면 photolithography 재료의 전송이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON CS-600은 또한 다양한 유형의 웨이퍼를 처리 할 때 유연성을 허용하는 프로그래밍 가능한 형식 설정을 제공합니다. 기계는 안전한 작동을 보장하기 위해 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 안전 (safety) 기능에는 연산자가 공구에서 멀어질 때 자동 정지 (auto-stop) 와 기계가 일정 시간 이상 사용되지 않았을 때 자동 잠금 해제 (auto-unlock) 가 포함됩니다. CS-600 에는 운영자가 쉽게 액세스할 수 있는 Emergency Stop 버튼도 포함되어 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 제조 공정에 더 큰 처리량과 향상된 정확도를 제공하는 고급 자동 포토레시스트 자산입니다. 고급 광 조정기 (Optical Aligner) 와 로더/언로더 (Loader/Unloader) 시스템은 높은 효율성과 품질을 제공하는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스 및 안전 기능은 작업을 단순화하고 안전한 작동을 보장합니다.