판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380679
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텔/도쿄 전자 CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 포토 esist 물질을 웨이퍼 또는 기판에 정확하게 적용하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광저항 물질 은 빛 에 민감 하며, 여러 가지 응용 을 위해 기판 에 "패턴 '을 만드는 데 사용 될 수 있다. 포토 esist 시스템은 노즐 유닛과 스캐너 헤드로 구성됩니다. "스핀 코트 '장치 라고도 하는" 노즐' 기계 에는 "스핀 '속도," 노즐' 온도 및 기판 에 있는 광물질 을 정확 하게 적용 하기 위한 저항력 을 제어 하기 위한 "프로그래밍 '가능" 모터' 가 들어 있다. 스캐너 헤드 (scanner head) 는 코팅 장치에 웨이퍼를 정확하게 배치하기 위한 광학 센서입니다. 통신 렌즈를 사용하여 이미징 관련 왜곡을 줄이고 완벽한 이미징을 제공합니다. 또한, TEL CS-600 photoresist 도구에는 자산 제어 및 처리를 위해 고급 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스의 요구에 따라 원하는 속도, 온도, 저항력, 압력을 설정할 수 있습니다. 이 단위는 또한 스펙트럼 분석 함수 (spectrum analysis function) 를 제공하는데, 이 함수는 적절한 재료 증착을 위해 photoresist 물질을 분석하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON CS-600에는 작업을 실행하는 데 사용되는 APLC (Advanced Programmable Logical Controller) 도 장착되어 있습니다. 이 정교한 장치는 여러 프로세스 단계에 대해 다양한 복잡한 작업을 수행할 수 있지만, 여전히 높은 정확도를 유지합니다. 요약하자면, CS-600 포토레시스트 모델은 사진 해설을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 기판에서 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 photoresist 증착을 수행하기 위해 최신 기술 발전이 장착되어 있습니다. 스핀 속도 (spin rate), 온도 (temperature) 및 저항성 (resistivity) 과 같은 매개변수에 대한 단단한 제어는 기질이 정확한 양의 포토 esist 재료 및 균일성으로 코팅되도록 보장합니다.
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