판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380678

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 포토 esist 장비는 사진 해설을위한 도구입니다. 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 공정. 이 시스템은 노출을위한 웨이퍼 배치, 고출력 UV 또는 레이저 광원, 이미지를 확대/축소하기위한 전동식 줌 렌즈 (Motorized Zoom Lens) 및 고도의 고급 제어 장치를 정확하게 정렬하기위한 웨이퍼 정렬 단계를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 정렬 단계는 진공 척 (vacuum chuck) 과 3 개의 조정 가능한 동작 축으로 구성되며, 이 축은 연산자에게 웨이퍼 위치 및 방향을 정확하게 제어할 수 있습니다. 내부 카메라를 사용하여 노출 전에 웨이퍼 위치 및 정렬을 확인할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 각 Wafer 를 정확하게 배치하고 수작업 (Manual Intervention) 없이 노출할 수 있습니다. 기계 는 "응용프로그램 '에 따라 짧은" 아아크 램프' 를 사용 하여 "UV '나" 레이저' 광원 을 생산 하는 광원 을 갖추고 있다. 램프 (lamp) 및 전기 제어 도구 (Electrical Control Tool) 는 호 수명 및 최소 유지 관리 요구 사항을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 에셋은 다양한 응용 프로그램의 노출 매개변수를 최적화하기 위해 다양한 필터 (filter) 패턴을 사용할 수 있습니다. 전동식 줌 렌즈 (motorized zoom lens) 는 운영자에게 최대의 유연성과 노출 제어 능력을 제공하도록 설계되었습니다. 광도를 정확하게 제어하기 위해 조정 가능한 홍채 다이어프램 (iris diaphragm) 을 갖춘 원격 중심 디자인이 있습니다. 또한 조정 가능한 포커스 (focus) 와 줌 (zoom) 을 제공하여 사용자가 이상적인 이미지 크기를 선택할 수 있습니다. 제어 모델은 고도로 고급이며 터치 스크린 사용자 인터페이스 (Touch Screen User Interface) 와 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 운영자가 사전 프로그램 (pre-program) 노출 매개변수를 사용하고 다른 응용 프로그램에 대해 다양한 설정을 저장할 수 있습니다. 이 장비는 프로세스 제어를 강화하기 위해 다른 생산 장비와 통합 될 수도 있습니다. TEL CS-600 포토 esist 시스템은 반도체 제작을위한 강력한 도구로서, 정확한 웨이퍼 정렬, 고출력 UV 또는 레이저 광원, 조정 가능한 초점 및 줌, 고급 제어 장치를 제공합니다. 특정 프로세스를 자동화할 수 있는 기능을 통해, 효율적이고 신뢰할 수 있는 포토리스토그래피 (photolithography) 환경을 사용자에게 제공합니다.