판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380672

ID: 9380672
빈티지: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 반도체 웨이퍼 개발 및 처리에 사용되는 자동 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 레이저' 주사 기술 을 이용 하여 한 "웨이퍼 '에서 다음 으로 신속 히 움직 여 리소그래피 과정 중 에 사진술사 재료 를 정확 하게 적용 할 수 있게 한다. TEL CS-600 은 통합 비전 유닛 (Integrated Vision Unit) 을 사용하여 어플리케이션 프로세스를 시작하기 전에 각 웨이퍼를 정확하게 인식할 수 있으며, 생산되는 동안 정확성을 더욱 높이고 오류를 줄일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS-600은 독점적 인 스핀 온 교육 프로세스를 사용하여 포토 esist 물질을 웨이퍼 표면에 적용합니다. 최적화된 레이저 빔을 사용하여 기계는 웨이퍼 (wafer) 표면을 정확하게 스캔하고 필요한 분배 위치를 자동으로 계산합니다. 이를 통해 고속 (high speed) 및 반복 (repeatability) 방식으로 작동하는 완전히 자동화된 도구를 사용하여 포토레시스트를 제어하고 균일하게 적용 할 수 있습니다. 통합 비전 자산을 통해 바코드 인식 및 웨이퍼 구성 요소 확인을 수행할 수 있습니다. 이 외에도, 모델은 또한 다른 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 구별 할 수 있으며, 각 웨이퍼에 올바른 포토 esist 재료 및 개발 조건 만 사용됩니다. 장비의 정확도를 더욱 높이기 위해 CS-600 (CS-600) 은 중력 수준 검출 (gravity level detection) 을 사용하여 각 웨이퍼 표면에 걸쳐 재료 및 분배 경로의 균일성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600은 전 세계 반도체 생산 라인에서 없어서는 안될 장비입니다. 포토리스 소재 (photoresist material) 를 웨이퍼에 적용하는 데 있어 최고 효율성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었으며, 높은 정확도와 반복성으로 인한 오염과 폐기물을 최소화합니다. TEL CS-600은 앞으로 수년간 반도체 생산의 초석이 될 것입니다.
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