판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380669

ID: 9380669
빈티지: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
텔/도쿄 전자 CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 전자 산업을위한 초미세 부품의 제조에 사용되도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급 (high automated) 기능을 통해 설치와 사용이 용이하며, 특화된 설계를 통해 모든 구성 요소가 고성능 (HPC) 을 제공합니다. TEL CS-600은 여러 개의 통합 된 구성 요소로 구성되며, 이 구성 요소는 모두 민감한 구성 요소의 정확한 microfabrication을 보장하는 데 필수적입니다. 스캐너 내장, 클린 스테이션, 노출 장치 및 개발/습식 에칭 장치가 장착 된 사전 노출 장치로 구성됩니다. 사전 노출 장치 (pre-exposure unit) 는 동력화 된 기계적 단계를 사용하여 감광체 층 (photoresist layer) 을 정확하게 스캔하여 기판에 photoresist 층의 최적의 노출을 보장합니다. 이러한 자동 검색 (automated scanning) 프로세스를 통해 시스템을 쉽게 설치할 수 있으며 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 내장형 클리닝 스테이션 (Built-in Cleaning Station) 은 성능 향상을 위해 장치의 기계적 구성 요소를 현장 클리닝할 수 있도록 지원합니다. 폭로 장치 (Exposure Unit) 는 포토 esist 층을 활성화시키는 데 사용되는 강력한 방사선 광선을 생성하는 역할을 담당한다. 핵 추적 저항은 부품의 고해상도를 보장하기 위해 사용됩니다. 방사선 의 강도 를 조절 하기 위하여 조정 가능 한 "셔터 '도 사용 된다. 개발 및 습식 에칭 프로세스에는 PD-PHOTO 에칭 머신 (etching machine) 의 사용과 포토 esist 레이어의 동시 개발 및 에칭이 포함됩니다. 이 프로세스는 컴포넌트를 정확하게 분리하고, 컴포넌트의 모양과 크기 (shape and size) 를 정확하게 제어하기 위해 필요합니다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON CS-600은 매우 정교하고 자동화 된 포토 esist 도구입니다. 다양한 구성 요소를 통해 광범위한 전자 제품 (Electronics) 애플리케이션의 구성 요소를 정확하게 제어 및 사용자 정의할 수 있습니다. 설치가 용이하고, 안정성이 뛰어나므로 대부분의 구성 (fabrication) 관련 작업에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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