판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380656

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment는 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼에 패턴을 만드는 데 사용되는 첨단 장치입니다. 반도체 소자의 제작 과정의 핵심 단계 인 사진 (photolithography) 프로세스에 사용됩니다. TEL CS-600은 웨이퍼 표면에 복잡하고 균일 한 패턴을 만들기 위해 화학 공정을 사용하는 정교한 기계입니다. 이 시스템은 다중 노출 기능 (multi-exposure capability) 을 통해 여러 레이어의 포토레지스트를 웨이퍼 서피스에 배치할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 정확한 패턴과 모양을 만들 수 있습니다. 또한 저항 코팅 및 도량형 검사 제품군도 포함됩니다. 코팅 스테이션은 포토리스트 (photoresist) 를 웨이퍼 표면에 분배하고, 도량형 스테이션은 레지스트 레이어를 100% in-situ로 검사하여 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON CS-600은 최첨단 고속 정밀 마스크 정렬 장치를 사용합니다. 기계의 자동 패턴 인식 (automated pattern recognition) 을 통해 마스크 패턴을 정확하게 읽고 정확하게 정렬하여 오류와 부정확성을 제거합니다. 매우 정밀한 정렬 (alignment) 기능을 통해 잘못된 등록 오류를 없애고 생산률 (production rate) 에서 더 높은 수율을 산출하는 패턴을 생성할 수 있습니다. CS-600은 또한 완전히 자동화된 설치 및 제어 자산을 제공합니다. 운영자는 프로세스 레시피를 자동으로 및 반복 가능하게 수행할 수 있습니다. 이 모델은 또한 운영자가 기계의 상태와 성능을 유지, 모니터링 할 수 있도록 쉽게 만듭니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 (TEL/TOKYO ELECTRON CS-600) 은 컴퓨터 장비에서 실행되므로 사용자가 하드웨어 및 출력 데이터와 쉽게 상호 작용할 수 있습니다. 또한 매우 신뢰할 수있는 시스템으로, 가장 엄격한 웨이퍼 제조 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 매우 효율적인 장치로서, 공간이 제한되어 있고, 빠르고, 신뢰할 수 있는 패턴을 제공합니다. 전반적으로 TEL CS-600 Photoresist Machine은 반도체 생산에 사용되는 매우 정교하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 즉, 사용자는 짧은 시간 내에 패턴을 정확하게 생성할 수 있고, 높은 수준의 정확성과 반복 (repeatability) 을 유지할 수 있습니다.