판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9399665

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track은 반도체 제조업체가 집적 회로 생산에 사용하는 고급 포토 esist 장비입니다. Photoresist는 다양한 기질에서 회로를 형성하는 데 사용되는 빛에 민감한 화학 필름입니다. 리소그래피, 에칭 및 증착 과정의 다양한 단계가 적용됩니다. TEL Clean Track 시스템은 위험을 최소화하고 이러한 프로세스의 정확성을 향상시킵니다. 도쿄 전자 클린 트랙 (TOKYO ELECTRON Clean Track) 장치는 프로세스의 민감한 포토 esist 단계에 노출 된 웨이퍼 주변의 안정적이고 일관된 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 입자 오염을 막는 데 중점을 둔 여러 단계 (multiple stage) 가 특징이며, 이는 최종 제품의 결함으로 이어질 수 있습니다. 이러한 단계에는 입자 프리 에이전트, 정적 제어, 청정 가스, 미립자 여과, 환경 모니터링 및 사후 청소가 포함됩니다. 입자 프리 에이전트는 Clean Track 챔버 내에서 오염 물질을 식별하고 제거하는 데 사용됩니다. 정적 (static) 제어는 챔버 내에 쌓일 수있는 잠재적 정전하를 방지하며, 이는 입자 오염을 유발할 수도 있습니다. 클린 가스 (clean gas) 는 매우 여과 된 혼합물로 챔버 내부에 새로운 입자가 도입되는 것을 방지합니다. 입자 여과기는 이전에 제거 된 입자 외에 주변 환경에서 입자를 포착 한 활성 여과 기계 (active filtration machine) 입니다. 환경 모니터링 시스템은 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track 챔버에 들어가기 전에 입자를 감지합니다. 마지막으로, 추가 입자 elminination을 위해 포스트 클리닝이 수행됩니다. TEL Clean Track (TEL 청소 트랙) 도구를 사용하면 반도체 제조업체에서 고효율 집적회로를 생산할 수 있습니다. 이것은 전체 리소그래피 (lithography) 과정에서 입자 오염을 제거함으로써 달성되며, 따라서 각 단계에서 엄격한 프로세스 제어를 유지할 수 있습니다. 또한, 자산은 각 단계의 제품이 결함이 없도록 할 수 있습니다 (영문). 전체적으로 TOKYO ELECTRON Clean Track 모델은 고수율, 비용 효율적인 반도체 제조의 토대 역할을합니다.