판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track은 반도체 장치 제작 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 장치 제조 과정에서 입자, 유기 및 무기 필름, 기타 오염 물질을 포토 esist 층에서 제거하도록 설계되었습니다. TEL 청소 트랙 (TEL Clean Track) 은 고강도 이온화 된 가스를 사용하여 오염 물질을 포토 esist 표면에서 멀리합니다. 이 "가스 '는" 가스' 전달 "노즐 '과 조절 가능 한" 가스' 압력 조절기 를 포함 한 "쇼어헤드 '조립체 를 이용 하여 광저항 표면 으로 전달 된다. 압력 조절기 (pressure regulator) 는 다양한 광저항 층, 표면 화학 물질 및 입자 크기를 수용 할 수있는 다양한 가스 전달 압력 (gas delivery pressure) 을 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track은 또한 이온화 된 가스를 10 ~ 20 torr의 최적의 청소 압력으로 지속적으로 순환시키는 고성능 펌프를 통합합니다. 이 시스템은 정적 (static) 필터를 사용하여 가스 스트림에서 정지 (suspended) 입자를 제거하고, 조절 가능한 가스 압력 측정기 및 조절기를 사용하여 클린 룸 응용을위한 일관된 이온화 (ionizing) 가스 흐름을 제공합니다. Clean Track 장치에는 레이저 조명 (Laser Illumination) 및 CCD (Charge-Coupled Device) 이미징과 같은 고급 광학 기술을 사용하여 오염 물질의 포토레스 레이어를 모니터링하는 독특한 이미징 머신이 포함되어 있습니다. 또한 입자 관찰을위한 듀얼 비디오 기록 기능 (dual-video recording) 과 맨눈으로 볼 수없는 오염도 포함됩니다. 또한 텔/도쿄 전자 클린 트랙 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track) 은 개선 된 프로세스 모니터링을 위해 포토 esist 응용 프로그램 전후에 찍은 이미지를 비교하기위한 오버레이 이미지 기능을 제공합니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 (TEL Clean Track) 은 효율적인 입자 제거, 자동화 프로세스 및 제조 비용 절감을 자랑하는 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 툴입니다. 그것 은 "반도체 '장치 의 제조 에 사용 되며, 특히" 포토레지스트' 표면 에서 작은 입자 와 유기 오염 물질 을 제거 하는 데 효과적 이다. 도쿄 일렉트릭 클린 트랙 (TOKYO ELECTRON Clean Track) 은 포토레스 레이어의 무결성을 유지하고 프로세스 재생성과 높은 수율을 보장하도록 설계되었습니다.