판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9360709

텔/도쿄 일렉트로닉 클린 트랙 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track) 은 웨이퍼에 얇은 필름을 정확하고 일관되게 입금하도록 설계된 정밀 사진 저항 장비입니다. TEL 클린 트랙 (TEL Clean Track) 은 매우 다양한 마이크로 전자 장치에서 고해상도 회로를 생산하기 위해 개발되었으며, 거의 20 년 동안 상업적으로 사용되었습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track 디자인의 중심에는 기판에 정확하게 저항을 적용하도록 설계된 전문 진공 스택 증착실이 있습니다. 챔버 (chamber) 는 두 단계로 작동합니다. 첫째, 특정 저항의 흐름이 챔버 (chamber) 의 한계 내에 생성되고 기판으로 향합니다. 일단 정확 한 "레지스트 '를 적용 하면" 스프레더' 는 기판 을 균일 하게 입히는 데 사용 된다. 스프레더는 저항의 진동과 균일 한 증착을 유발하는 초음파 주파수 (ultrasound frequency) 파에 의해 작동합니다. Clean Track의 디자인은 다른 시스템에 비해 몇 가지 주요 이점을 제공합니다. 첫째 로, "레지스트 '는 균일 한 층 에 적용 되기 때문 에 15" 나노미터' 까지 정확 한 선명 하고 정확 한 회로 회선 을 만들어 낸다. 이를 통해 고밀도 전자 부품을 생산할 수 있으며, 현재 세대 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track 시스템은 8 나노미터 크기의 기능 크기를 생산할 수 있습니다. 또한, 정확한 저항의 적용으로 인해, 시스템은 수백만 개의 장치에 대한 신뢰성 일관성을 제공 할 수 있습니다. TEL은 최적의 성능을 보장하고 다운타임을 줄이기 위해 TEL Clean Track 장치에 여러 기능을 통합했습니다. 가장 주목할 만한 기능은 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 및 제어 시스템 (Control System) 으로, 처리 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 품질을 보다 효과적으로 제어하고 가동 시간을 늘릴 수 있습니다. 또한, 위험 한 입자 들 이 "챔버 '에 들어가지 못하도록 수정 된 공기" 이젝터' 와 같은 여러 가지 안전 장치 들 이 통합 되어 있다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Clean Track은 마이크로 일렉트로닉스 산업에 신뢰할 수 있고 정확한 포토 esist 머신을 제공합니다. 클린 트랙 (Clean Track) 은 아트 프로세스 모니터링 및 안전 시스템의 상태인 정확한 라인 너비를 8 나노미터 (8 나노미터) 까지 낮췄습니다.