판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9281924

텔/도쿄 일렉트로닉 클린 트랙 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track) 은 반도체 제조에서 정확한 패턴화와 높은 처리량을 가능하게하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 처리 시간을 최적화하면서 정확한 기능을 보장하도록 설계된 일련의 컴포넌트 (component) 로 구성되어 있습니다. 이 장치의 코어 기술 (Core Technology) 은 기존의 프로세스보다 노출 시간이 적어 단일 웨이퍼에 더 많은 기능을 에칭 할 수있는 고급 포토 esist 컴포지션입니다. 포토리스 (photoresist) 의 최대 제어를 보장하기 위해 기계는 고급 이미징 모듈 (advanced imaging module) 을 포함하며, 이를 통해 패턴화의 정확도와 해상도를 높일 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 도구 는 "레이저 '를 이용 하여" 웨이퍼' 에 있는 광소시스트 '의 정확 한 정렬 뿐 아니라 정확 한 식각 을 보장 한다. 증착을 위해 자산은 고급 증착 전략 (advanced deposition strategies) 을 사용하여 웨이퍼에 일관된 기능과 균일 한 증착을 만듭니다. 이를 통해 제조 능력이 향상되고, 완성된 제품의 수익률이 높아집니다. 추가 제어를 제공하기 위해, 모델은 정확한 재료 처리를 위해 웨이퍼를 특정 온도로 가열하는 가열 요소 (heating element) 를 포함합니다. 열 (heat) 은 빠른 열 주기 연결에도 사용되며, 프로세스 시간 및 수율을 향상시키는 데 도움이됩니다. 시간 이 흐르면서 도구 의 마모 나 찢어짐 을 보호 하기 위하여, 그 장비 에는 또한 "포토레지스트 '장치 의 자동 청소 가 포함 된다. 이것 은 "와퍼 '에서 오염 물질 이나 잔류 물 을 제거 하는 통합 된 청소 주기 를 통하여 달성 된다. 또한, 스틱과 오염을 최소화하고, 표면 균일성을 향상시키고, 더 정확한 프로세스를 허용하는 특별한 초음속 클리닝 프로세스를 사용합니다. 마지막으로, 이 장치는 고급 (advanced) 알고리즘을 사용하는 고급 재료 제어 머신 (advanced material control machine) 을 사용하여 피쳐의 무결성을 유지하면서 프로세스 시간을 최적화하기 위해 피쳐의 최상의 배치를 모델링합니다. 이 툴은 또한 추적 가능성 (Traceability) 을 제공하여 여러 운영 실행의 데이터를 분석하여 프로세스를 더욱 개선할 수 있습니다. 요약하면, TEL 클린 트랙 (TEL Clean Track) 은 처리 시간과 수율을 향상시키기 위해 설계된 종합적인 포토리스 자산입니다. 고급 이미지 처리 (Advanced Imaging), 증착 (Deposition) 및 클리닝 (Cleaning) 전략과 재료 제어 (Material Control) 기능을 통해 최종 제품의 품질을 유지하면서 정확한 기능을 보장할 수 있습니다. 이 장비는 레이저, 자동 클리닝 (automated cleaning) 및 정교한 알고리즘을 사용하여 고품질 반도체 장치를 생산하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다.