판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track은 고급 사진 해설에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 첨단 기술 (advanced technologies) 을 사용하여 미세 마비 장치 생산 중 정밀한 정렬 및 해상도를 보장합니다. TEL 청소 트랙 (Clean Track) 장치는 리소그래피 과정에서 입자 오염을 줄이는 데 중점을 두어 정확하고 정확한 리소그래피를 허용합니다. 이것은 효율적인 공기 여과, 먼지 추출, 잔해 수집 및 제거 프로세스 등 여러 기술을 통합함으로써 달성됩니다. 특정 프로세스는 사용되는 리소그래피 장비 유형에 따라 다르지만, 일반적으로 다음 단계를 포함합니다. 먼저, 기계 는 석판실 내 의 공기 를 재활용 하고, 정전기 를 생성 하는 입자 들 을 제거 한다. 이것은 또한 방을 방진으로 유지하는 데 도움이됩니다. 둘째 로, 먼지 추출 도구 를 사용 하여 공기 중 에서 먼지 입자 를 "필터링 '한다. 이것은 고효율 여과, 사이클론 먼지 분리기 및 활성 목탄 공기 청소 기술의 조합으로 수행됩니다. 셋째, 에셋은 영역의 입자가 리소그래피 챔버에 들어가는 것을 방지합니다. 이 모델은 석판기 (lithography machine) 의 고해상도 (high-resolution) 장 (field) 에 입자가 들어가지 못하도록 하는 데 효과적 인 챔버에서 매달린 입자를 부드럽게 제거하기 위해 노즐을 배치합니다. 넷째, 장비는 여러 기술을 활용하여 제조 중인 장치의 콘택트 마스크 (Contact Mask) 를 정확하게 정렬합니다. 여기에는 여러 유형의 광원, 광학 ferrule 정렬, 고정밀 레이저 정렬 기준점 등이 포함됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 제조 중인 장치가 정확하게 정렬됩니다. 마지막으로, 시스템은 정확한 정렬을 보장 할 수뿐만 아니라 오염 물질이 리소그래피 챔버 (lithography chamber) 에 들어갈 가능성을 줄일 수 있습니다. 이것은 석판 실 외부에 위치한 2 차 청소 스테이션을 통해 수행됩니다. 이 스테이션에는 고효율 필터 (Hi-efficiency filter) 가 장착되어 챔버에 들어온 잔해나 입자를 잡아냅니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON 클린 트랙 (Clean Track) 장치는 수많은 기술을 사용하여 제조 중인 장치의 정밀한 정렬과 정확성을 보장하는 고급 사진 해설기입니다. 이 도구 는 또한 오염 물질 이 없는 환경 을 조성 함 으로써 "리소그래피 '공정 의 오염 을 줄이는 데 도움 이 된다.