판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293587658

텔/도쿄 전자 클린 트랙 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track) 은 반도체 장치 생산을 위해 석판 공정에 사용되는 특수 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 photolithographic 및 wet 화학 공정의 조합을 사용하여 반도체 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, LCD 등의 품목 기판을 안정적으로 패턴화합니다. 이 장치는 기본적으로 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이것은 노출 모듈, 세척 모듈 및 건조 모듈입니다. 노출 모듈은 광원과 마스킹 플레이트를 사용하여 석판화 (lithographic patterning) 를 수행하도록 설계되었습니다. 사용 되는 광원 은 "웨이퍼 '의 종류 에 따라" 레이저' 나 자외선 광원 일 수 있다. 마스킹 플레이트에는 웨이퍼로 옮길 석판 패턴이 포함되어 있습니다. 그런 다음, 세척 "모듈 '을 사용 하여" 웨이퍼' 가 노출 된 후 나머지 광저항 잔기 를 제거 한다. 이 단계에서 저항제 제거/식각 화학 물질은 나머지 포토 esist 잔기를 제거하기 위해 용매 (일반적으로 물) 뿐만 아니라 조절되고 적용된다. 이 단계 는 청결 함 과 "패턴 '의 정확성 을 보장 하기 위해 정확 하게 수행 되는 것 이 중요 하다. 마지막 단계는 건조 모듈입니다. 이 단계는 노출 된 웨이퍼 표면의 수분을 제거하는 데 사용됩니다. 다시 말 하자면, 석판 "패턴 '의 정확성 을 보장 하기 위하여 수분 의 수준 이 매우 낮은 것 이 중요 하다. 이 단계 에 "알코올 '이나" 이소프로필 알코올' 과 같은 건조 물질 을 사용 하여 건조 과정 을 가속화 시킨다. TEL Clean Track의 photoresist 기계는 안정적인 결과로 웨이퍼를 빠르고 정확하게 패턴화합니다. 이 도구는 최첨단 광석학 및 습식 화학 공정의 조합을 활용하여 대상 기판에 정확한 패턴 (pattern) 과 깨끗한 서피스 (clean surface) 를 생성합니다. 또한, 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자의 구체적인 요구를 충족하기 위해 손쉽게 사용자 정의 및 개선을 수행할 수 있습니다.