판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #293628523

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz Photoresist Equipment는 반도체 산업에서 정밀 마이크로 제조 및 대량 생산을 위해 설계된 포토 esist 프로세스 솔루션입니다. 최첨단 포토레시스트 (photoresist) 디스펜스와 G3 프로세스 제어를 결합한 이 시스템은 유지 관리 비용 및 폐기물 감소, 보다 높은 반복 가능성과 함께 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 장치의 핵심은 응용 프로그램 모듈이며, 이 모듈에는 사전 정렬 된 2 개의 디스펜스 챔버가 포함되어 있습니다. 이 구성은 분배 변동성을 최소화하며, 매우 균일하고 고해상도 결과를 지원합니다. 이 챔버 (chamber) 는 용매를 빠르게 전환하여 광범위한 프로세스 유연성을 제공합니다. 온도, 흐름, 분배 전압 보상의 자동 보정 및 동기화는 일괄 처리 (batch-to-batch) 에서 반복 가능한 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 시스템에는 고급 제어 장치 인 Mark Vz Controller도 포함되어 있습니다. 이 지능형 도구는 사용자가 자동화된 프로세스 제어, 통계적 프로세스 제어, 사진 정렬 제어, 낮은 분배율의 자동 보상 (Automatic Compension of Lower Dispense Rate) 등 다양한 기능을 제공합니다. 온보드 소프트웨어는 고급 기능 인식 (feature recognition) 기능을 통해 성능을 더욱 향상시켜 디스펜스 (dispense) 변형의 영향을 최소화하고 다운타임을 최소화합니다. 반복성 향상을 위해 에셋은 4 개의 열적으로 독립적 인 온도 센서가있는 닫힌 루프 (closed-loop) 냉각 모델로 설계되었습니다. 이는 0.3 ° C 이내의 온도 정확도를 보장하며, 업계에서 가장 높은 수준의 반복 성을 제공합니다. 이 장비는 또한 자동 마스크 변경 (Automatic Mask Change) 솔루션을 제공하여 프로세스 관리 및 효율적인 운영자 설정을 가능하게 합니다. 더욱 뛰어난 성능과 정확성을 위해, 이 시스템은 추가적인 물리적/전기적 프로세스 (Physical Process) 기능을 제공하여 안전, 정밀도, 처리량을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Clean Track Mark Vz Photoresist Unit은 반도체 산업의 요구에 맞춰 설계된 고성능, 저유지 광저지 솔루션입니다. 통일된 디스펜싱, 고급 프로세스 제어 및 제어, 향상된 반복성 및 정확성을 결합함으로써, 이 솔루션은 탁월한 수준의 성능, 품질, 비용 효율성을 제공합니다.