판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #142532

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz는 안정적이고 빠른 포토 esist 준비를 제공하면서 오염을 최소화하도록 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 트랙 기반 클리닝 프로세스 (Closed-Loop) 를 통해 샘플을 로드하고 언로드하고 환경을 깨끗하게 유지하고 오염을 방지하는 데 도움이 되는 고성능 프로세스 챔버 (High Performance Process Chamber) 를 갖추고 있습니다. 이 장치는 고유한 트랙 기반 클리닝 아키텍처를 사용하여 오염에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 여기에는 입자를 기계의 환경으로 방출하는 것을 방지하는 밀폐 된 수송 트랙, 클린 룸 바닥 (clean room floor) 및 트랙의 엑시트 (Exit) 쪽 입구에서 최적화된 공기 흐름과 청결을 보장하는 특수 조작 여과 도구 (specifically engineered filtration tool) 가 포함됩니다. 챔버 (chamber) 는 스테인리스 스틸 도금 내부 (stainless steel plated interior) 와 챔버 환경에 대한 최적의 청결을 위해 음극 전기 분해 코팅으로 만들어집니다. 실벽은 적외선 복사를 반사하고 빛의 정확한 초점을 보장하기 위해 특수 유전체 거울 코팅 (special dielectric mirror coating) 으로 코팅됩니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 지역 청소 및 오염 제어를 지원하는 셔터 세트와 공기 흐름 충격 자산 (air-flow impingement asset) 과 사고 또는 오해를 방지하기위한 여러 안전 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 속도가 다른 고속 (High-Speed Track) 클리닝 프로세스를 자랑합니다. 이렇게 하면, 크고 작은 여러 가지 "샘플 '의 청소 를 정확 히 제어 할 수 있다. 조정 가능한 속도 스크러빙 롤러 (scrubbing roller) 와 공기 흐름 (air-flow) 을 사용하여 오염이없는 결과를 보장함으로써 트랙 클리닝 프로세스가 더욱 향상됩니다. 이 장비는 photoresist 증착의 실시간 모니터링, 데이터 로깅 및 분석, 자동 레시피 생성, 디포커스 및 반복 레시피 실행, 샘플 처리, 최종 보고서 관리 등의 기능을 제공하는 사용자 친화적 인 소프트웨어로 더욱 향상되었습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고, 사용하기 쉽고, 최적의 사용을 위해 광범위한 교육이 필요하지 않습니다. 전반적으로 TEL Clean Track Mark Vz는 다양한 어플리케이션에 이상적인 안정적이고, 오염이 없으며, 고성능 포토리스 시스템을 제공합니다. 트랙 기반 클리닝 (cleaning) 프로세스를 통해 모든 크기의 샘플 준비를 정확하게 제어할 수 있으며, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 초보자 (novice) 사용자에게도 쉽게 사용할 수 있습니다.