판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9395945
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ID: 9395945
빈티지: 1995
Coater / Developer system
COT
ARCCOT
(2) DEV
WEE
Missing parts:
AD ASSY Unit
UL200T-L1
Circulator
Main arm
C/S Unit bottom fan
(6) Fuses, 2 A
T&H CPB-2-M2, Cup temperature cooker body
WEE Driver ASSY
Surge Tank Controller
Inheritor PC
Spin motors
Spin drivers
I/D X-axis driver
I/D Y-axis driver
I/D Z-axis driver
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 반도체 및 FPD 생산 공정에서 고품질 패턴을 만들도록 설계된 매우 정밀하고 자동화된 포토 esist 장비입니다. Photoresist는 기판에 패턴을 만드는 데 사용되는 광 민감성 폴리머 재료입니다. TEL Clean Track Mark 8은 매우 정확하고 반복 가능한 포토 esist 패턴을 달성하는 데 중점을 둡니다. 빠르고 안정적인 노출 기능을 제공하여 일관성 있는 정확성과 고품질 패턴을 보장합니다. 이 시스템은 강력한 신호 처리 (signal processing) 및 제어 기능을 갖춘 견고성 강화 (rugged) 제어 장치를 통해 정확한 위치를 보장합니다. 또한 매우 정밀한 빔 스캐닝 (beam scanning) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 1 나노 미터 미만의 반복 가능한 나노 스케일 패턴을 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8의 통합 모션 컨트롤 머신에는 고해상도 선형 인코더, 스테퍼 모터 컨트롤러 및 음성 코일 모터 컨트롤러가 포함됩니다. 이를 통해 다양한 응용 프로그램에 대한 정확한 동작 제어가 가능합니다. 이미지 해상도는 최대 13um (0.0005 ") 으로 다양한 어플리케이션의 요구 사항을 충족합니다. 클린 트랙 마크 8 (Clean Track Mark 8) 은 렌즈 수차를 최소화하고 매우 일관성 있고 균일 한 전자 빔을 제공하는 고급 필드 방출 전자 빔을 통합합니다. 이 고해상도 전자 빔은 낮은 에너지 전자 노출 및 짧은 쓰기 시간을 허용합니다. 이 도구는 또한 개선 된 오염 제어 (contamination control) 를 특징으로하며, 환경 변화가 장비 성능에 미치는 영향을 최소화합니다. 이 자산은 프로덕션 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 Touch Panel LCD는 무선 리모콘 및 제스처 기반 명령으로 작동할 수 있습니다. 이 모델에는 또한 내장된 생산성 모니터링 소프트웨어 (Productivity Monitor Software) 가 포함되어 있으므로 제조업체는 프로세스 진행을 쉽게 추적할 수 있으며 프로세스 진행 상황을 완전히 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 정밀도, 효율성 및 생산성 향상을 제공합니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 장비는 반도체 및 FPD 생산 라인의 요구를 충족시켜 고품질의 고성능 결과를 보장하도록 설계되었습니다.
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