판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9372744

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 (CTM-8) 은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 (Photoresist) 는 리소그래피 공정의 패턴화에 사용되는 빛에 민감한 물질로, 많은 전자 제품의 기초를 형성하는 복잡한 디자인을 만드는 데 도움이됩니다. CTM-8 시스템은 반도체 칩의 대량 생산 및 프로토 타입 제작을위한 패턴 (pattern) 의 빠르고 정확한 개발을 가능하게합니다. CTM-8 장치는 포지티브 레지스트 SE 1455 (Positive Resist SE 1455) 라는 포토 esist 재료를 사용하여 기판에 음의 릴리프를 생성함으로써 작동합니다. 먼저, 기질 을 "레지스트 '의 얇은 층 으로 입힌 다음," 마스크' 를 통하여 자외선 에 노출 시켜서 기판 에 "패턴 '화 된 형상 을 형성 한다. CTM-8 머신 (CTM-8 machine) 은 자외선에 기판을 정확하고 반복 적으로 노출시켜 정확한 패턴 전달을 보장합니다. 이 도구에는 APDM (Automatic Process and Data Monitoring) 소프트웨어가 장착되어 있어 인쇄 프로세스와 패턴 반복 기능을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. photoresist 자체는 선 너비 (line width) 와 모서리 배치 정밀도 (edge placement accuracy) 에 민감하며, 적절한 패턴 전송을 위해 개발 중에 가열해야합니다. CTM-8 에셋은 내장 저항기 (Resist Heater) 및 셔터 모델 (Shutter Model) 을 갖추고 있어 저항을 자동으로 가열하여 일관된 에칭을 제공하고 레이어의 광학 투명도를 최적화합니다. CTM-8 장비는 또한 패턴 전달의 정확성을 향상시키고, 먼지 입자가 기판에 정착하는 것을 방지하고, 공정 반복성을 개선하기 위해 멀티 스테이지 부식 보호 장치 (multi-stage corrosion protection unit) 를 갖춘 고급 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 종합적인 사용자 인터페이스를 통해 CTM-8 시스템을 쉽게 보정 및 모니터링할 수 있습니다. 따라서 숙련된 사용자와 경험이 적은 사용자가 모두 이 도구의 매개변수를 신속하게 제어할 수 있고, 제안된 모든 프로젝트에 대해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 고급 소프트웨어와 하드웨어 기능을 갖춘 CTM-8 은 고품질 반도체 장치를 빠르고 효율적으로 생산할 수 있는 이상적인 포토레시스트 (photoresist) 자산입니다.