판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269249

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 현대 반도체 제조업체의 요구를 수용하기 위해 설계된 일종의 포토 esist 장비 중 하나입니다. 이 "시스템 '은 가장 정밀 하고 정확 한" 패턴' 을 만들기 위하여 "웨이퍼 '로부터 포토레지스트' 를 증착 하고" 스트립 '시키도록 설계 되었다. TEL 클린 트랙 마크 8 (TEL Clean Track Mark 8) 은 전자 빔을 사용하여 포토 esist를 노출시키고 녹이지 않으며, 에칭 과정을 완료하기위한 화학적 애싱 공정을 수행합니다. 이 단위는 선 너비를 0.35äm 아래로 정확하게 가져올 수 있으며, 모따기와 둥근 모서리 인 선 모서리 (line edges) 를 가져올 수 있습니다. 이 기계는 자동화, 프로그래밍 가능한 저항 분배 및 제거를 특징으로하여 포토 esist의 정확한 증착 및 제거를 보장합니다. 균일하게 얇은 저항층 레이어를 확보하기 위해 Clean Track Marks 8에는 자동 기울기 간격 도구 (automatic tilt interval tool) 가 장착되어 있습니다. 이 자산은 직경이 8 인치 인 웨이퍼에 분배 및 스트립 반복성 및 균일성을 허용합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8의 독특한 기능으로서, 가스 샤워의 존재는 잔류 물, 입자 및 기타 오염 물질을 웨이퍼 표면에서 유지하는 데 도움이됩니다. 이 모델은 또한 입자 밀도 제어 장비 (particle density control equipment) 를 특징으로하며, 기판 표면에 최소 수준의 입자를 유지하도록 설계되었습니다. 시스템 내부에서 저항 분배 메커니즘은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었습니다. 이것은 저항의 축적을 피하고, 자기 입자가 노출 과정을 방해하지 않도록 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 Clean Track Mark 8은 세부 사항과 신뢰성에 가장 주목하여 설계되었습니다. 자동 기울기 간격 장치 (automatic tilt interval unit) 와 결합 된 우수 진공 암과 웨이퍼 클램핑 디자인의 조합은 현대 반도체 제조 요구에 가장 앞선, 신뢰할 수 있고, 가장 정밀한 결과를 제공하는 포토리스 (photoresist) 기계를 만듭니다.