판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269235

ID: 9269235
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 반도체 장치 제조에 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 다양한 프로세스 애플리케이션 (process application) 을 지원하도록 설계된, 다용도 및 신뢰성이 뛰어난 시스템입니다. 이 장치에는 비전 머신, 완전 자동 트랙, 스핀 린스 건조기 및 클린 룸이 포함됩니다. 비전 도구 (vision tool) 는 웨이퍼 (wafer) 및 포토 마스크 패턴 (photomask pattern) 과 같은 피쳐를 인식하고 식별하는 역할을 하며, 이 패턴은 특정 프로세스에 필요한 대로 추가 피쳐를 일치시키고 정렬하는 데 사용됩니다. Vision (Vision) 자산은 디지털 이미징 모델과 통합되어 효과적이고 정확한 작동이 가능합니다. TEL Clean Track Mark 8은 클린 룸 환경에서 웨이퍼, 포토 마스크 및 기타 재료를 자동으로 처리합니다. 단일 두께 필름 트랙이 장착되어 있어, 균일하고 통제 된 개발 프로세스가 가능합니다. 이 트랙에는 고속 스핀 린 (spin-rinse) 건조기가 장착되어 있어 로트 투 로트 최적화 및 예측이 가능합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 빠른 처리 주기, 구성 요소 정밀 정렬 및 100% 청소 실 기능과 같은 뛰어난 기능을 통해 설계되었습니다. 또한, 이 장비는 고급 자동 유지 관리 시스템 (Automated Maintenance System) 을 제공하여 진정한 단일 레벨 운영 및 고속 장치 설정을 지원합니다. Clean Track Mark 8 (Clean Track Mark 8) 은 인체 공학적 트랙에 통합 된 모듈식 디자인과 최신 자동화 머신을 사용하여 탁월한 처리량을 통해 생산 효율성을 극대화합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 신뢰할 수 있고 고성능, 효율적인 포토 esist (PR) 도구가 필요한 모든 시설에 이상적인 솔루션입니다. 가장 엄격한 요구 사항과 프로세스 시퀀스까지 충족할 수 있는 통합 비전 에셋 (vision asset), 고속 트랙 (high-speed track), 효율적인 스핀 린스 건조기 (spin-rinse dryer) 를 제공합니다. 또한, 탁월한 유지 보수 모델은 장비 수명을 늘려 유지 보수 관련 생산 지연에 대한 총소유비용 (TCO) 과 민감도를 크게 줄여줍니다.
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