판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269233

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 포토 esist 장비는 반도체 산업의 사진 촬영을위한 효율적이고 다용도 도구입니다. 완전자동화 (Fully Automated) 시스템은 웨이퍼에 포토레지스트를 정확하게 배치하고 원치 않는 포토레시스트를 제거하도록 설계되었습니다. 컴팩트한 디자인과 사용자 친화적인 작동을 통해 최소한의 폐기물로 생산성을 극대화할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 8은 용매 기반 스프레이 포토 esist 장치입니다. 원래 200mm 웨이퍼를 위해 설계 된이 장치는 최대 6 인치 웨이퍼에 높은 처리량을 제공합니다. wafer loading, application parameters 및 programmable 함수 설정 측면에서 유연성이 높습니다. 고급 화학 배달기 (Advanced Chemical Delivery Machine) 는 균일하고 넓은 면적의 커버리지를 제공하는 반면, 자동 청소 모듈은 우수한 잔류 처리를 제공합니다. 이 도구에는 내장 된 열 스프레이 모듈 (thermal spray module) 이 내장되어 기판에 포토 esist의 안정적이고 균일 한 코팅을 제공합니다. 또한 석판 처리 중 웨이퍼 이동을 용이하게하는 자동 웨이퍼 처킹 에셋 (automated wafer chucking asset) 이 포함되어 있습니다. 4 개의 통합 모듈은 포토 리스트 (photoresist) 의 분배뿐만 아니라 효율적인 워시, 린스 및 분배 된 포토 리스트의 수집도 제공합니다. 고품질 성능을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 포토 esist 모델에는 고급 광학 검사 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 포토 esist 응용 프로그램 (photoresist application) 전에 웨이퍼의 결함 또는 오염을 식별하고 프로세스 후 비표준 영역 (non-standard area) 또는 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 감지합니다. Clean Track Mark 8은 모든 유형의 photoresist 프로세스에 비용 효율적인 솔루션으로 설계되었습니다. 또한 효율성이 높아 시간 및 자원 낭비를 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 사용자 친화적 인 운영, 종합적인 기능 세트, 우수한 클리닝 모듈을 통해 고품질 결과를 얻을 수 있는 귀중한 도구입니다.