판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9266470

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9266470
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
(1) Coater / (2) Developer system, 6" Dual block 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 반도체 웨이퍼에서 고급 사진 석판 작업을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 현재 생산 기능의 표준을 능가하고, 일관되게 고품질 (High-Quality) 사진 촬영 작업을 달성하도록 설계되었습니다. TEL Clean Track Mark 8은 고급 이미지 캡처 기능을 제공하여, 가장 작고 복잡한 사진 분석 마스크를 고해상도 이미징할 수 있습니다. 이 장치는 기존 TEL 시스템에 통합되어 주기 (cycle) 와 유지 보수 (maintenance) 요구 사항을 대폭 줄이고 비용을 절감하고 고객의 가치를 높이도록 설계되었습니다. 포토레지스트 머신 (photoresist machine) 은 또한 타의 추종을 불허하는 포토레시스트 이미징 (photoresist imaging) 을위한 고도의 고급 미러 툴과 웨이퍼의 정확하고 쉬운 작동을 가능하게하는 특허받은 전동 스테이지 에셋을 갖추고 있습니다. 이 모델은 또한 견고한 프레임 설계 (Rigid Frame Design) 를 갖추고 있어 더 빠른 유지 보수 및 수리를 위해 부품과 부품을 신속하게 교체할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 은 또한 최고 수준의 정확성과 효율성을 갖춘 새로운 기술을 신속하게 통합할 수 있는 고급 소프트웨어 아키텍처를 제공합니다. 이 장비는 포토레시스트 두께 (photoresist thickness) 와 레이어 무결성 (resist layer integrity) 모두에 대해 자동화되고 지속적으로 모니터링되어 속도 또는 정확도에 영향을 미치지 않고 일관된 고해상도 이미징을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 deep-UV, ArF immersion, step-and-scan 등 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 다양한 photoresist를 지원합니다. 또한, 이 장치의 고급 설계 (Advanced Design) 는 높은 수준의 운영 유연성을 제공하므로 다양한 생산 규모 및 기판 재료에 맞게 사용자 정의 (Customize) 할 수 있습니다. 혁신적인 설계를 통해 새로운 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 성능 저하 없이 컴퓨터에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 기능 블록의 기본 (전용 메모리와 최대 유연성과 성능을 위한 내장형 32비트 프로세서) 을 지원합니다. 요약하자면, 클린 트랙 마크 8 (Clean Track Mark 8) 은 생산 능력의 현재 표준을 능가하고 일관되게 고품질 사진 촬영 작업을 달성하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 자산입니다. 이 모델은 첨단 미러 장비, 특허를 획득한 모터 스테이지 시스템 (Motorized Stage System), 자동화 소프트웨어 아키텍처 (Automated Software Architecture) 를 제공하여 주기 및 유지 보수 요구 사항을 줄여줍니다. 또한, 이 장치는 다양한 생산 스케일 및 기판 재료를 수용할 수있는 유연한 사용자 정의 설정을 지원합니다. 이러한 기능은 강력한 구성 및 유연성과 함께 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8을 고급 사진 분석 작업에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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