판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 마이크로 전송 및 고성능 웨이퍼 처리 시스템을 갖춘 포토 esist 장비입니다. 최대 300mm 웨이퍼까지 고품질 포토 esist 처리가 가능합니다. TEL Clean Track Mark 8 장치는 진공 호환성을 순환하는 일련의 옵션을 제공하며 드라이 스트립/에치, 클리닝, etch, 스핀 코트 등 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 최고의 웨이퍼 정렬 정확도, 신뢰성 및 최대 목표에 대한 페이로드를 제공하도록 설계되었습니다. 기계의 고속 정렬 도구를 사용하면 웨이퍼 손상을 입히지 않고 안전하게 전송할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 플로팅 트랙 (floating track) 의 필요성을 없애고 웨이퍼 (wafer) 를 전송하는 동안 웨이퍼 처킹 (Wafer Chucking) 문제를 제거하는 독특한 구조를 특징으로합니다. Clean Track Mark 8 모델의 마이크로 트랜스퍼 (micro-transfer) 는 로터리 플랫폼을 기반으로 하며 여러 웨이퍼를 동시에 전송할 수 있으므로 프로세스 처리량이 증가합니다. 이 장비는 또한 고속, 고해상도 카메라를 통해 포토레지스트가 웨이퍼에 정확하게 정렬되고 등록되도록 합니다. "카메라 '는" 패턴' 의 미세 한 변화 를 탐지 할 수 있는 "이미징 '장치 를 갖추고 있어서 고급" 패턴' 장치 의 생산 에 이상적 이다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 장치의 또 다른 기능은 고급 웨이퍼 처리 기계입니다. 이 툴을 사용하면 여러 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 로드하고 언로드하여 프로세스 비용과 시간을 최소화할 수 있습니다. 에셋은 자동 전단 및 쿼츠 절삭과 자동 배치 처리를 제공합니다. 이렇게 하면 초기 단계에서 최종 단계 (final stage) 까지 웨이퍼를 효율적으로 처리하고, 시간을 절약하며, 프로세스 제어를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 모델은 또한 효율적인 프로세스 제어를 위해 고급 도구와 라이프 사이클 서비스를 제공합니다. 여기에는 프로세스 모니터링, 프로세스 확인 및 프로세스 진단이 포함됩니다. 또한 TEL Clean Track Mark 8 장비는 통합 프로세스 시뮬레이션 소프트웨어, SOP 및 레시피 관리 시스템 및 예측 유지 관리 장치를 갖추고 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 기계는 포괄적 인 안전 기능을 통해 모든 photoresist 프로세스에서 정확성과 안전한 작동을 최적화하도록 설계되었습니다. 이러한 기능에는 압력에 민감한 유리 웨이퍼 척 (glass wafer chuck), 안전 회전 도어, 인터 록 및 기타 많은 안전 기능이 포함됩니다. 이러한 기능은 운영자의 안전과 안정성, 성능을 보장합니다.