판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9238274

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 박막 장치의 대용량 제조 및 검사를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '리소그래피' 를 적용 하기 위한 화학 물질 을 정확 하고 정확 하게 처리 할 수 있다. Mark 8은 정확한 측정 및 제어를 사용하여 정확한 표면 코팅 (surface coating) 을 생성하고 웨이퍼에 노출 된 저항을 생성하는 완전 자동 스프레이 및 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 마크 8 (Mark 8) 은 단일 소스 photoresist 단위로, 전체 photoresist 흐름 및 기판 준비 과정을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 사전 청소, 웨이퍼 처리 및 포토 저항 재료의 증착이 포함됩니다. 고급 검색 및 정렬 머신 (advanced search and alignment machine) 은 photoresist 레이어의 각 패턴과 정확하게 정렬되도록 설계되었습니다. 또한, 광학 구역 탐지 시스템 (optical zone detection systems) 은 포토 esist 필름 구조에서 미묘한 오류를 인식하여 공정의 품질과 정확성을 보장 할 수 있습니다. Mark 8의 고급 기술은 폴리머 저항 필름 (polymeric resist film), 폴리 이미드 필름 (polyimide film) 및 포토 esist 잉크 (photoresist ink) 와 같은 여러 박막 광저장제 재료를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 결과적으로, 이 도구는 에칭, 증착, 성형 및 리토-에칭과 같은 쉽게 복잡한 photolithography 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한 Mark 8에는 여러 웨이퍼 (wafer) 작업과 기능이 포함되어 있어 유연성과 다양성이 더욱 향상됩니다. 자산은 나노 미터 (nanometer) 에서 미크론 (micron) 스케일까지 다양한 패턴에 적합합니다. 패턴 (pattern) 의 정확성과 반복성을 보장하기 위해 Mark 8은 고급 열 관리 기술 (thermal manage technology) 과 웨이퍼 표면에 잠재적 인 전기 손상의 위험을 방지하는 매우 낮은 전압 구동 모델을 사용합니다. 또한, 웨이퍼 표면은 마크 8 (Mark 8) 의 핫 플레이트의 온도 제어를 통해 조절 될 수 있으며, 정확성과 신뢰성을 더욱 향상시킵니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 마크 8 (TEL Clean Track Mark 8) 은 다양한 리소그래피 응용 프로그램을 위해 얇은 필름 포토리스트 재료를 정확하고 정확하게 처리하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 자동화된 프로세스와 정확한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 는 마이크로 및 나노 미터 스케일에서 웨이퍼에 대해 정확하고 반복 가능한 패턴을 달성 할 수 있습니다.