판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 반도체 제작 공정을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 높은 정확성과 효율성으로 개발, 노출, 사후 처리의 중요한 단계를 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 특성과 성능이 최적화된 다양한 디바이스를 생성할 수 있습니다 (영문). 시스템의 중심에는 강력한 Deep UV 노출 소스가 있습니다. 이렇게 하면 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에 균일한 조사 (irradiation) 를 제공하고 패턴 해상도와 선/공간 너비를 정확하게 제어할 수 있습니다. 노출 시간 (Exposure Time) 은 더 작은 피쳐 크기와 더 높은 종횡비에 맞춰 조정할 수 있으므로 밀접하게 간격 선과 더 복잡한 형상을 포함하는 더 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치 에는 매우 정확 한 "페리스탈틱 '" 펌프' 를 사용 하여 "와퍼 '에 현상제" 펌프' 를 조절 속도 로 사용 하는 화학 분배 장치 가 장착 되어 있다. 이것 은 "포토레지스트 '가 필요 한 강도 와 균일 한 방법 으로 개발 되도록 한다. 처리 후 프로세스는 정적 및 동적 밸런싱 (Static & Dynamic Balancing) 기능으로 최적화되어 있으며, 이는 화학적 분배 속도뿐만 아니라 개발자 패드 기울기 및 속도를 세밀하게 조정할 수 있습니다. Mark 8은 최대 운영자 안전을 위해 설계되었습니다. 공수 화학 물질과 실험실 오염을 자동으로 필터링하여 사용자가 노출되지 않도록 보호 (exposure) 하는 fume extraction 툴이 내장되어 있습니다. 또한, 이 자산은 부식성 화학 처리, 독성 물질의 저장 및 폐기 (storage and disposal) 에 관한 엄격한 규정을 충족하거나 초과하도록 설계되었습니다. 최고 수준의 성능과 안정성을 보장하기 위해, 이 모델은 납품되기 전에 엄격한 테스트와 보정 (calibration) 을 거칩니다. 여기에는 photoresist 레이어의 결함 레벨 (defect level) 효과를 시뮬레이션하는 다양한 시뮬레이션 실행 (지정된 응용 프로그램에 대한 최적의 설정) 이 포함됩니다. TEL Clean Track Mark 8은 유연하고 비용 효율적인 포토 esist 처리를 위해 개발되었습니다. 경에너지 수준, 화학 물질 정밀 분배, 동적 밸런싱 (Dynamic Balancing) 및 자동 안전 (Automated Safety) 기능을 정확하게 제어하면 반도체 제조에 이상적인 도구가됩니다.