판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9158018

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 (CTM-8) 은 반도체 재료의 고해상도 고속 패턴을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 용도 (use case) 에 적합한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. CTM-8은 두 가지 주요 부품, 즉 코트 스테이션과 개발 스테이션으로 구성됩니다. 코트 스테이션 (Coat Station) 은 기판 적재 시스템, 가열 된 진공 챔버, 저항 코팅 헤드 및 기판을 적재기에서 개발 스테이션으로 전송하기위한 컨베이어 유닛으로 구성됩니다. 개발 스테이션에는 가열 된 진공 챔버 (vacuum chamber), 에치 소스 (etch source) 및 둘 사이의 기질을 움직이는 개별 기판 운송 도구가 포함됩니다. CTM-8에는 고해상도 광학 이미징 에셋이 장착되어 있는데, 이 에셋은 저해상도 0.2m (0.2 m) 의 이미지 해상도를 낼 수 있습니다. 이를 통해 섬세한 재료를 정확하고 정밀하게 패턴화할 수 있습니다. 이 모델은 또한 정확한 기판 정렬을 제공하며, 이를 통해 빠르고 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, CTM-8 (CTM-8) 은 식각 기판의 잔류를 효율적으로 제거하는 자동 청소 프로세스를 갖추고 있습니다. CTM-8은 포토 esist 코팅 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 독자적인 Resist Control (Resist Control) 기능을 통합하여 사용자가 적용된 Resist의 두께를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 각 프로세스가 실행되는 동안 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 장비에는 Smart Profile Control (스마트 프로파일 제어) 이 있으며, 이는 균일 한 저항선 프로파일을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 CTM-8은 향상된 운영 및 유지 관리 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 가스 소비를 줄여주는 가스 복구 시스템 (gas recovery system) 이 내장되어 있어 운영성이 향상됩니다. 또한, 이 장치에는 노즐 유지 관리를 단순화하여 다운타임을 줄이는 빠른 변경 노즐 머신이 포함되어 있습니다. 또한, 이 툴에는 빠르고 쉽게 작업할 수 있는 메뉴 방식 운영자 인터페이스 (menu-driven operator interface) 와 원격 문제 해결을 위한 원격 액세스 (remote access) 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 TEL Clean Track Mark 8은 신뢰할 수 있고, 견고하며, 고성능 포토리스 처리 솔루션을 제공합니다. CTM-8은 고해상도 광학 영상 자산 (Optical Imaging Asset) 과 저항 코팅 공정의 정확한 제어를 통해 반도체 패턴화에 이상적인 선택입니다. 또한 자동화된 유지 관리 프로세스와 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.