판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9087888
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ID: 9087888
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
8HP/7CP/1AD/1WDS/1WEE
2-1 RRC x2
2-2 RRC x1
EBR stepping
Digital flowmeter
C/B (buffer tank x4)
(2) THC
Local
RtL
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 고급 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist 시스템입니다. 포토리스토그래피 (photolithography) 공정을 정확하게 제어하도록 설계되었으며 업계 최고의 반도체 소자의 생산에 사용됩니다. TEL Clean Track Mark 8은 다양한 고급 기술을 사용하여 정확한 사진 석판 촬영 제어 및 정확성을 보장합니다. 사용 된 1 차 기술 중 하나는 EUV (extreme ultraviolet) 리소그래피로, 해상도가 11 nm 미만인 매우 훌륭한 구조를 패턴화할 수 있습니다. 사용되는 다른 주목할만한 고급 기술로는 고급 포토 esist 호환성, 액체 침수 리소그래피 및 오프 축 조명이 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 또한 특허를받은 WAMT (Wafer Anular-Mask Tape) 스테이지를 특징으로하여 포토 리토 그래피 프로세스 동안 균일 한 평평한 포토 esist 레이어를 보장합니다. 이 기능은 전체 장치에서 고해상도 (High Resolution) 및 프로세스 균일성 (Process Unifority) 을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 시스템은 또한 다이렉트 드라이브 스캐너 (Direct Drive Scanner) 설계를 사용하여 변형을 최소화하고 전반적인 정확도를 향상시킵니다. Clean Track Mark 8은 이러한 고급 기술 외에도 높은 처리량, 데이터 관리 기능, 프로세스 시뮬레이션/모델 정확도도 통합했습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스를 빠르고, 효율적이며, 정확하게 분석하고 최적화할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 사용하여 웨이퍼 처리에 필요한 시간을 단축합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 생산성을 높이고 프로세스의 정확성을 유지하려는 모든 반도체 제조업체에 귀중한 도구입니다. 고급 기술과 기능을 갖춘 Mark 8 은 고품질의 반도체 디바이스를 생산할 수 있는 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 수단을 제공합니다.
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