판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293628320

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ID: 293628320
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Resist coater / Developer system, 8" Single block Controller type: NEC-PC-9800 Wafer direction: Right to left AC Power box TCU: (2) Electronic controllers Hard Disk Drive (HDD) not included AC power cable: 1 Phase 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 고정밀도 및 미세 패턴화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 광저항 "시스템 '은" 실리콘 웨이퍼' 와 같은 기판 에 미세 한 균일 한 "패턴 '을 노출 시키도록 설계 되었으며, 혁신적인 반도체 장치 의 제작 에 사용 된다. 이 장치는 침수 가능한 트랙 스캐너를 사용하는데, 이 스캐너는 본체, 투영 목표 및 드라이브 시스템으로 구성됩니다. 침수 가능한 트랙 스캐너 (submergible track scanner) 는 컴퓨터의 다양한 매개변수를 제어하는 트랙 컨트롤러에 연결됩니다. 투영 목표는 트랙 스캐너 (Track Scanner) 와 연결되어 있으며 액체 광사 솔루션 (photoresist solution) 에 잠겨 있습니다. 투영 대상은 광전자 (photoresist) 에 빛을 집중시키는 데 사용되며, 드라이브 시스템은 기판에 패턴을 정확하게 x, y, z 위치를 지정할 수 있습니다. 이 도구는 최대 0.1 미크론의 정밀도와 최대 0.2 미크론의 패턴으로 균일하고 높은 정밀도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 포토 esist는 또한 안정성을 제공합니다. 즉, 온도, 압력 또는 연령의 영향을받지 않습니다. 이것 은 매우 정밀 하고 정확 한 "패턴 '이 필요 하기 때문 에" 반도체' 장치 를 제조 하는 데 이상적 이다. TEL Clean Track Mark 8 (TEL Clean Track Mark 8) 자산은 기판에 얇은 저항층을 패턴화하는 안정적이고 정확한 방법이 필요한 사람들에게 이상적입니다. 이 모델은 최대 0.1 미크론의 정확도로 균일 한 고정밀 패턴을 제공 할 수 있으며, 사용 된 포토 esist는 나이, 온도, 압력에 영향을 미치지 않습니다. 마지막으로, 이 장비는 고밀도, 3 차원 패턴을 생산하는 데 사용될 수 있으며, 보다 정밀하고 정확하게 혁신적인 장치를 생산할 수 있습니다.
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