판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293616507

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 포토 esist 장비는 리소그래피 처리를 위해 설계된 고급 이미징 솔루션입니다. 이 시스템은 마스크 재료에 대한 열 효과를 줄이면서 처리량을 최대화하도록 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 광범위한 생산 응용 프로그램에 적응하고 대부분의 기존 석판화 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 8은 고급 렌즈 장치를 사용하며 5 밴드 자외선 조명을 사용하여 최대 100nm의 공중 이미지 해상도를 달성합니다. 파장 선택 방사선 능력과 결합 된 인상적인 이미징 정확성 (Imaging Accuracy) 은이 기계가 고급 리소그래피 애플리케이션에 이상적입니다. 또한, 이 치료에 필요한 선명도와 미묘한 색조 범위를 제공하기 위해 높은 동적 범위 (dynamic range) 를 가지고 있습니다. TOKYO ELECTRON 클린 트랙 마크 8 (Clean Track Mark 8) 에는 포토 esist의 균일 한 적용을 보장하고 높은 린스 속도를 제공하는 프로그래밍 가능한 저항 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 대체 및 다중 레벨 계층 마스크 쓰기를 포함한 고해상도 마스크 쓰기를 지원합니다. 이 도구는 수차를 줄이고 포토 esist의 균일 한 복용을 보장하는 개선 된 컴퓨터 제어 알고리즘을 사용합니다. 안정적이고 반복 가능한 처리를 위해 웨이퍼 정렬 에셋이 장착되어 있으며, 루프 정렬 및 결함 출력 제어를 위한 CCD 카메라가 포함되어 있습니다. 편의상 Clean Track Mark 8에는 터치스크린 제어가 적용된 사용자 친화적 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있습니다. GUI는 모든 편집, 운영 및 스크립팅 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 동적 이미지 크기 조정, 자동 웨이퍼 (wafer) 인덱싱 및 정렬 수정 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 높은 처리량, 반복성 및 정확성을 요구하는 리소그래피 응용 프로그램을위한 이상적인 포토 esist 모델입니다. 최첨단 렌즈 (lens) 장비와 첨단 이미징 (imaging) 기능을 통해 최고 구경의 반도체 처리를 위한 실용적인 솔루션이 될 수 있습니다.