판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293585704

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 패턴화하도록 설계된 정교한 포토 esist 장비입니다. 사진 분석, 저항 처리 및 웨이퍼 처리에서 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 의 입증 된 기술을 최대한 활용할 수 있도록 설계된 플랫폼을 제공합니다. TEL Clean Track Mark 8은 포토 esist 응용 프로그램의 리소그래피에 이상적입니다. 따라서 마스크를 정확하게 배치하고, 정렬 정확도가 우수하며, 웨이퍼에 대한 효과적인 패턴 전송이 가능합니다. 이 시스템에는 CCD 등록을위한 자체 포켓 미니 범위가 포함되어 있습니다. 초소형 정렬 단계; 풀 필드 노출 장치; 웨이퍼로드 스테이션; 통합 웨이퍼 처리. 이러한 구성 요소는 향상된 해상도, 반복 가능성, 최소한의 왜곡을 위해 설계된 리소그래피 (lithography) 솔루션을 생성합니다. 미니 스코프 (mini-scope) 는 마스크 및 웨이퍼를 자동으로 비파괴적으로 등록하여 노출 시간을 줄이고 정렬의 정밀도를 향상시킵니다. OptiScope의 고급 설계는 하나의 스캔 (scan) 만 사용하고, 노출 시간을 줄이고, 필요한 경우 정렬 정확도를 높여 정렬 및 등록의 처리량과 정확도를 높입니다. 또한 OptiScope 는 Alignment 및 Mask Registration 정보를 실시간으로 표시하므로 운영 담당자가 제품을 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 초소형 정렬 단계 (Ultra Compact Alignment Stage) 는 고급 모터라이제이션과 기계적 설계 기술을 활용하여 정확한 정확성과 균질한 정렬을 보장합니다. 안정성, 정밀도 및 속도를 제공하며 내장, 단일 피스 옵토 프로세싱 조명기를 갖추고 있습니다. 결과 성능은 노출 후 뛰어난 패턴 정확도를 보장합니다. Full-Field Exposure Tool은 뛰어난 패턴 전송 정확도와 처리량을 제공합니다. 고급 레이저 패턴화 (Laser patterning) 방식과 전자 셔터 (Electronic Shutter) 를 사용하여 해상도가 5um, 시간당 최대 5 웨이퍼를 제공합니다. 또한 Wafer Load Station 을 사용하면 쉽게 로드하고 언로드할 수 있으므로 노출 시간을 줄이고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 통합 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 자산은 고성능 운영 환경에 필요한 핫 스왑 및 통합 액세스를 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 로드 스테이션은 최대 4 개의 웨이퍼 도입 시스템을 병렬로 연결할 수 있으며, 효율적인 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 포토 esist 모델은 효율적인 생산을 위해 포괄적이고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 고급 정렬 및 노출 관리 (Exposure Management) 기능을 통해 웨이퍼를 정확하게 패턴으로 전송할 수 있습니다. 이를 통해 고정밀도 photoresist 응용 프로그램 생산에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.