판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #190708

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 반도체 장치 제조를위한 고급 기판 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 성능, 정확성, 그리고 높은 수준의 반복 (repeatability) 기능을 최적화하도록 설계되었으며, 다양한 디바이스 구성 애플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 이 시스템에는 실시간 모션 컨트롤 (Motion Control), 정밀 로봇 처리 및 고급 카메라 기반 비전 (Vision) 솔루션이 장착되어 있어 기판 이동이 정확하고 위치가 정확합니다. 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼로 구성할 수 있으며, 고급 자동 옵틱 (optic) 기능을 제공하여 마스크와 기판을 정확하게 정렬할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 8은 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 특징으로하며 두꺼운 필름 균일성을 유지하여 높은 정확도를 제공합니다. 그것의 고급 기질 준비 장치 (advanced substrate preparation unit) 는 화학 에칭 및 레이저 스트리핑과 같은 청소 및 스트리핑 공정의 조합을 사용하여 다양한 공정에 대한 기질 표면을 신속하게 준비합니다. 또한, 고급 광학 변위 (optical displacement) 및 변위 속도 제어 (displacement speed control) 는 더욱 정확하여 안정적이고 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8의 고급 웨이퍼 및 마스크 처리 기능은 높은 필름 두께 제어로 정확하고 반복 가능한 멀티 마스크 오버레이 및 패턴을 가능하게합니다. 여기에는 전용 마스크 리프팅 메커니즘이 포함되며, 이는 비전 머신에 통합되어 정확한 웨이퍼-투-마스크 정렬을 확인합니다. 또한 Clean Track Mark 8 (Clean Track Mark 8) 은 강력한 모니터링 기능을 제공하며, 이 툴에는 고급 레시피 관리 자산 및 디지털 프로세스 제어가 포함되어 있어 모든 장치에서 효율적인 레시피를 이용할 수 있습니다. 여기에는 고급 원격 모니터링 기능 (프로세스 데이터를 실시간으로 액세스할 수 있는 기능 포함) 이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8은 높은 정확성, 신뢰성 및 반복성이 필요한 모든 프로세스 개발 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다. 강력한 설계 및 고급 (Advanced) 기능을 통해 장기적 성능에 최적화되어 고급 프로세스 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.